[实用新型]一种水冷臭氧发生器

说明书

本实用新型提供一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，所述发生器本体包括外壳、放电室、排出组件和冷却罐，所述外壳的顶部设置有进气管道，所述外壳的侧边连接有进水管道和出水管道，所述出水管道的另一端与冷却罐相连通，所述进水管道的另一端设置有水泵，所述水泵和冷却罐的顶部相连接，所述放电室设置在外壳的内部，所述外壳的底端安装有排出组件，该水冷臭氧发生器通过在放电室的内侧设置有环形管道，将将外部的冷却液均匀的输送到每个冷却夹层的内部，可以避免不同位置温度差异过大的情况，放电室的底部设置与排出组件，通过该组件内部的缓存罐即可将制造的臭氧进行暂时存储，并能够控制臭氧的浓度。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体为一种水冷臭氧发生器。

背景技术

多晶硅生产过程中，需要使用到臭氧作为氧化原料进行加工，而臭氧由于易分解，因此需要在加工场地中进行临时制备，所以需要用到相应的臭氧发生器，其中水冷式的臭氧发生器最为常见。根据现有技术如中国专利文件CN202022320491.1所述的一种壁挂式水冷臭氧发生器，所公开的技术方案，其通过对臭氧发生器进行快速拆卸和安装，可以大大提高对臭氧发生器检修时的速度，节省时间，减少工作量提高工作效率，同时进行臭氧制备时，此时通过进液管和出液管可以将冷却水输送至臭氧发生器外壳的内部，可以使得臭氧发生器本体内部的温度较低，防止臭氧的分解，大大提高臭氧的制备效率。

根据其公开的技术方案来看，现有技术中直接通过将冷却液统一排放到放电室的外侧进行冷却散热处理，但是由于冷却液注入到内部后的流动状态不可控，因此冷却液与放电室表面的接触区域也难以控制，该状态下会导致部分放电室无法直接与冷却液接触的位置，散热效果不佳，进而使放电室不同位置的温度产生差异，另一方面，常规的臭氧发生器通过持续排出的方式输送臭氧，该方案无法对臭氧的排出浓度进行调节和控制。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种水冷臭氧发生器，以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型提高了放电室部分的散热效果以及均匀性，能够控制生产臭氧的具体浓度，且提供了暂时存储的功能。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，所述发生器本体包括外壳、放电室、排出组件和冷却罐，所述外壳的顶部设置有进气管道，所述外壳的侧边连接有进水管道和出水管道，所述出水管道的另一端与冷却罐相连通，所述进水管道的另一端设置有水泵，所述水泵和冷却罐的顶部相连接，所述放电室设置在外壳的内部，所述外壳的底端安装有排出组件，所述排出组件的中间安装有连通组件。

进一步的，所述排出组件包括缓存罐和电动推杆，所述缓存罐的底端安装有连通组件，所述缓存罐的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的顶部安装有活塞板。

进一步的，所述连通组件的底端安装有导出通道，所述导出通道的底端连接有出气管道，所述出气管道的表面安装有电磁阀，所述导出通道整体呈倒锥形结构。

进一步的，所述活塞板的侧边贴装有密封层，所述活塞板的表面开设有通气孔，所述活塞板通过侧边的密封层与缓存罐的内壁相贴合，所述缓存罐的内部通过顶部的管道结构与外壳的内部空间相连通。

进一步的，所述连通组件的内侧设置有进气口，所述连通组件的底端设置有出气口，所述连通组件的底部设置有底板。

进一步的，所述电动推杆的底端安装有固定板，所述固定板通过使用螺丝固定安装在底板的表面，所述连通组件内侧位于底板上方的空间与缓存罐的内部相连通，所述连通组件内部处于底板下方的空间与导出通道的内部相连通。

进一步的，所述外壳的内侧设置有多个隔板，每个所述隔板之间均设置有冷却夹层，所述进水管道和出水管道插入到外壳内部的一端均安装有环形管道，所述环形管道表面的开口分别与每个冷却夹层部分相连通。

进一步的，所述隔板的两端分别与外壳的内壁、放电室的表面焊接为整体，所述冷却夹层内部的空间与排出组件的内部空间相隔开。