[实用新型]一种检测设备

说明书

本实用新型公开了一种检测设备，涉及半导体生产检测技术领域；而本实用新型包括呈圆形的转板，所述转板上贯穿开设有三个呈环形分布呈圆形的放置槽，其中一个所述放置槽正上方设有竖直设置的下料筒，所述转板正下方设有直径大于自身的固定板；本实用新型中电机通过立杆带动摆动板和摆动杆进行转动，使得摆动杆推动活动板进行转动，当摆动杆随之摆动板转动一圈后，将重新插设在活动板上的下一活动槽内，驱动轴间歇转动，当一个硅片从下料口排出后，下料筒内的硅片将会一个个自动间歇下料，可无需工作人员一个个进行下料，再进行检测，提高对半导体硅片的检测效率，减少工作人员的工作量。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产检测技术领域，具体为一种检测设备。

背景技术

半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体是指一种导电性可控，范围从绝缘体到导体之间的材料，在对于半导体的生产过程中，硅片是半导体常用的一种生产原料。

对于半导体硅片在生产加工后需要进行检测，避免生产的半导体硅片上有残缺的地方影响后续的生产，但现有对于半导体硅片进行检测进料时，只是工作人员单一的通过手动放置硅片，增加工作人员的劳动工作量。

针对上述问题，发明人提出一种检测设备用于解决上述问题。

实用新型内容

为了解决半导体硅片进行检测进料时，只是工作人员单一的手动放置硅片，增加工作人员的劳动工作量的问题；本实用新型的目的在于提供一种检测设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种检测设备，包括呈圆形的转板，所述转板上贯穿开设有三个呈环形分布呈圆形的放置槽，其中一个所述放置槽正上方设有竖直设置的下料筒，下料筒内存放硅片，当转板转动后，下一放置槽内将重新放有硅片，所述转板正下方设有直径大于自身的固定板，所述固定板上表面抽壳开设有第一凹槽，所述第一凹槽内底部设有橡胶材质的缓冲垫，对下落的硅片进行缓冲保护，避免受力导致损坏，所述转板摆放设置在第一凹槽内，所述固定板位于其中一个放置槽下方开设有下料口，方便将转板上的硅片排料到收集套内，所述下料口直径略大于放置槽，所述固定板下方靠近下料口设有四个呈矩形设置的立板，四个所述立板间传动设有输送带，所述输送带表面等间距间隔设有收集套，所述收集套整体呈柔型，使得收集套自身可发生折弯，方便绕过驱动辊，自身呈柔性，对下料的硅片进行缓冲保护，对下料的硅片进行收集，通过输送带移动到检测装置下进行检测，所述转板下表面中心处固定设有竖直设置的驱动轴，所述驱动轴下端设有间歇转动装置，所述间歇转动装置包括活动板，所述活动板上开设有四个等间距分布的活动槽，所述活动槽内活动插设有摆动杆，所述摆动杆下端固定设有水平设置的摆动板，所述摆动板远离摆动杆一端固定设有竖直设置的立杆，所述立杆下端设有驱动装置，立杆带动摆动板和摆动杆进行转动，使得活动插设在活动槽内摆动杆受到转动的力时，可推动活动板进行转动，活动板带动驱动轴上端的转板进行转动，当摆动杆随之摆动板转动一圈后，将重新插设在活动板上的下一活动槽内，继续推动活动板进行转动，从而使得驱动轴间歇转动。

优选地，所述驱动装置包括横板，所述横板固定设置在两个靠近驱动轴的立板上，所述立杆下端贯穿横板，所述横板下方靠近立杆设有电机，所述电机的输出端固定连接在立杆上，通过电机进行驱动，可提供足够的力带动立杆进行转动，所述驱动轴下端转动设置在横板上，所述横板远离立杆一端固定设有呈L型的第一支架，所述下料筒固定设置在第一支架上端，驱动轴下端转动设置在横板上，使得驱动轴可稳定进行转动，下料筒固定设置在第一支架上端，对下料筒进行固定。

优选地，相邻两个立板间转动设有驱动辊，所述输送带传动套设在两个驱动辊上，靠近所述驱动轴的驱动辊一端固定设有连接轴，所述驱动轴上位于活动板上方固定设有两个呈啮合设置的锥齿轮，远离所述驱动轴的锥齿轮上固定设有连接杆，所述连接杆同连接轴间通过皮带传动进行连接，驱动轴同驱动辊间通过锥齿轮、皮带和连接轴进行连接，驱动轴在转动时驱动辊也会随之转动，完成间歇移动，使得输送带上的收集套可对下落的硅片进行接料。