[实用新型]单晶炉的冷却装置

说明书

本公开属于单晶炉的冷却技术领域，具体涉及一种单晶炉的冷却装置，冷却装置包括设于炉盖上的升降驱动组件、自升降驱动组件贯穿炉盖后伸入炉筒内的提升杆以及氩气冷却组件；升降驱动组件通过提升杆提起炉筒内的热场组件，使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙。氩气冷却组件包括延伸至散热间隙处的氩气供给管道，氩气供给管道通过散热间隙向热场组件内侧供给氩气。在单晶炉的冷却过程中，升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件，使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙，氩气冷却组件通过氩气供给管道向热场组件内侧供给氩气，使得氩气能够经散热间隙进入热场组件内部，利用氩气冷却组件配合散热间隙使用能够加快热场组件的散热速度。

技术领域

本公开属于单晶炉的冷却技术领域，具体涉及一种单晶炉的冷却装置。

背景技术

单晶炉拉晶完毕后，需要停炉冷却后才能进行拆炉。由于单晶炉在拉晶过程的温度高，其炉内的保温效较好，若让拉晶炉自然冷却，则会导致停炉的时间过长，严重影响生产效率。

为此现有技术在单晶炉上设置提升装置以加快散热，提升装置的升降驱动组件设置炉盖上，提升装置的提升杆伸入到炉筒内部与热场组件连接。在单晶炉冷却过程中，利用升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件，使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙，热场组件中的热量能够通过该散热间隙向外散热，以加快热场组件的冷却速度，进而缩短停炉时间。

但是仅仅在单晶炉设置提升装置来加快散热的手段较为单一，单晶炉的散热速度依旧较慢。

实用新型内容

为提高单晶炉的散热速度，本公开提供了一种单晶炉的冷却装置，该冷却装置设有氩气冷却组件配合散热间隙对热场组件降温，改善了单晶炉的散热速度慢的问题。

本公开的实施例提供了一种单晶炉的冷却装置，包括设于炉盖上的升降驱动组件，以及自所述升降驱动组件贯穿所述炉盖后伸入炉筒内的提升杆；

所述升降驱动组件通过所述提升杆提起所述炉筒内的热场组件，使得所述热场组件在竖直方向上形成散热间隙；

还包括氩气冷却组件；所述氩气冷却组件包括延伸至所述散热间隙处的氩气供给管道，所述氩气供给管道通过所述散热间隙向所述热场组件内侧供给氩气。

在一些实施例中，所述氩气冷却组件还包括冷却开关，所述冷却开关设于所述氩气供给管道的进气端，所述冷却开关在所述提升杆提升起所述热场组件后开启。

在一些实施例中，所述热场组件包括保温筒以及包裹在所述保温筒外侧的保温软毡，所述保温软毡包括上下设置的至少两层软毡层；

所述提升杆提升起位于上部的一所述软毡层。

在一些实施例中，所述氩气供给管道的出气端贯穿所述保温筒的侧壁。

在一些实施例中，所述氩气供给管道从所述散热间隙的底部贯穿所述保温筒。

在一些实施例中，所述炉筒的侧壁上设有加料筒，所述加料筒的进料端设有加料盖板将其密封；所述氩气供给管道的进气端设于所述加料盖板上。

在一些实施例中，所述升降驱动组件包括可升降的滑块以及驱动滑块移动的电机；所述滑块通过支架连接所述提升杆的顶部，以驱动所述提升杆在竖直方向上移动。

在一些实施例中，所述炉盖上开设有通孔，所述提升杆可竖直移动的穿设于所述通孔中；

所述提升杆位于所述炉盖上方的部分套设有波纹管，所述波纹管的上端连接所述支架，所述波纹管的下端连接所述炉盖；所述通孔位于所述波纹管内侧。

在一些实施例中，所述提升杆的底部设有挂钩，所述挂钩自所述软毡层的底部托起所述软毡层。

在一些实施例中，所述提升杆为中空状，用以引入冷却液。