[实用新型]一种光学零件的表面检测装置

说明书

本实用新型公开了一种光学零件的表面检测装置，包括支架、盛液盘、支脚、样品夹具、第三横杆、环形光源、第一横杆、相机、镜头和第二横杆；支架包括底座和垂直设在底座上的纵向支撑杆；盛液盘通过支脚架设在底座上；样品夹具通过第三横杆连接在纵向支撑杆上，环形光源通过第一横杆连接在纵向支撑杆上，镜头连接在相机上，相机通过第二横杆连接在纵向支撑杆上、且镜头向下；环形光源位于样品夹具和镜头之间。上述装置对于没有不透明光的光学零件，将被检测样品的下表面浸泡到折射率相近的液体里，降低下表面对上表面检测的干扰；进一步，利用材料的不透明波段将下表面的散射影响进行隔离，使得表面缺陷检测显著简单化，测试准确、且高效。

技术领域

本实用新型涉及一种光学零件的表面检测装置，属于光学零件的表面检测技术领域。

背景技术

光学零件表面缺陷是光学零件表面质量的一个重要评价指标，会对入射到光学零件表面的光束造成散射和能量损耗，如果缺陷的尺寸较小，还会产生较为严重的衍射现象，出现膜层破坏、衍射条纹、能量吸收和疵病畸变等现象，影响光学零件的使用效率和使用寿命。

光学零件表面缺陷的检测是一个长期存在但没有得到很好解决的实际工程问题，其复杂性源于很多方面，诸如划痕的深度、划痕侧边的方向性、缺陷侧边的粗糙度等；还有一类零件表面缺陷检测难度则源于零件本身的表面状态，例如像棱镜一样的复杂的表面形状、下表面的抛光状态等。

现有一类光学零件，其表面缺陷的检测受下表面的影响十分严重，例如下表面是磨砂面的激光腔面镜、曲率很大的球面镜等。

实用新型内容

本实用新型提供一种光学零件的表面检测装置，以解决下表面是磨砂面等的光学零件，表面缺陷检测受下表面的影响十分严重的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种光学零件的表面检测方法，利用对光学零件不透明的光源对对光学零件待测表面进行暗场照明，并配合与所用光源同波段工作的镜头和相机获取暗场照片，待测表面的缺陷被拍摄到暗场照片上，实现成像检测。

例如，照片上有亮度明显高于背景的亮点、亮条纹等，则是被检测表面的麻点和划痕等。

上述利用对光学零件不透明的光源对对光学零件待测表面进行暗场照明，可以将光照之限制在被光直接照射到的表面，光不会渗透进材料里面，更不会到达光学零件的下表面，排除了来自光直接照射面以外可能的光反射、折射、散射的干扰，使得表面缺陷检测显著简单化，测试准确、且高效。

上述方法可用于但不限于如下光学零件的检测：1)可见光和近红外波段透明，但紫外光不透明，例如普通的冕牌光学玻璃零件；2)可见光、紫外光和近红外波段均透明，但中红外和远红外波段不透明，例如石英类玻璃光学零件；3)红外透明，但可见光和紫外光波段不透明，例如红外玻璃零件，红外玻璃是另一类非常重要的玻璃材料，例如各类硫系玻璃。

对紫外光不透明的光学零件，利用紫外光源照明，配合紫外波段工作的镜头和相机来对玻璃上表面的缺陷的成像检测；由于材料本身对紫外光不透明，所以，照射到玻璃制品上表面的紫外光将无法穿透玻璃材料而到达玻璃制品的下表面，因而没有来自下表面的散射干扰；如此，可以排除玻璃制品下表面的干扰，专注于玻璃上表面的检测。

对中红外和远红外波段不透明的光学零件，利用中红外或远红外的光源照明，配合中红外或远红外波段工作的镜头和相机来对玻璃上表面的缺陷的成像检测；同理，由于材料本身对中红外或远红外光不透明，所以，照射到玻璃制品上表面的中红外或远红外将无法穿透玻璃材料而到达玻璃制品的下表面，因而没有来自下表面的散射干扰；如此，可以排除玻璃制品下表面的干扰，专注于玻璃上表面的检测。