[实用新型]一种用于半导体设备电气柜的接口器件

说明书

本实用新型提供一种用于半导体设备电气柜的接口器件，包括：壳体，所述壳体包括前表面和后表面，所述前表面与后表面相对设置，所述后表面用于可拆卸地连接所述电气柜；所述前表面设置有至少一个快接插座和至少一个连接头，所述快接插座和连接头通过连接件实现电连接；所述壳体内设置容纳空间，所述连接件设置于容纳空间内；所述壳体由第一部分和第二部分构成，所述第一部分和第二部分可拆卸连接，所述前表面和连接件设置于第一部分上。本实用新型的接口器件方便了接线。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及用于半导体设备的电气柜，具体的是用于半导体设备电气柜的接口器件。

背景技术

半导体设备是用于加工半导体器件的设备，例如加工芯片、逻辑器件、存储器、功率器件。由于半导体设备内部设置大量的传感器、加热组件、阀门等电器元件，因此需要专门的电气柜把电器元件的控制模块、供电模块等集成到该电气柜中，以方便维护。

现有技术中，将电器元件的线缆连接到电气柜一般采用插拔式端子，但是插拔式端子的底座是焊接在电气柜内的，因此很难维护和维修，接线缆时也很复杂，需要焊接，且插头众多，很难分辨对应关系。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于半导体设备电气柜的接口器件，用于解决半导体设备电气柜内接口不易维护和维修，接线缆时也很复杂的问题。

为了实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

本实用新型提供一种用于半导体设备电气柜的接口器件，包括：

壳体，所述壳体包括前表面和后表面，所述前表面与后表面相对设置，所述后表面用于可拆卸地连接所述电气柜；所述前表面设置有至少一个快接插座和至少一个连接头，所述快接插座和连接头通过连接件实现电连接；

所述壳体内设置容纳空间，所述连接件设置于容纳空间内；

所述壳体由第一部分和第二部分构成，所述第一部分和第二部分可拆卸连接，所述前表面和连接件设置于第一部分上。

进一步的，所述连接头为四位螺钉端子，所述快接插座为自锁连接器的底座。

进一步的，所述快接插座的数量为3个，所述连接头的数量为2个。

进一步的，通过所述连接件将一螺钉端子的1、2端口和三个底座的1、2端口并联，分别连接24V和0V电源，用于供电；所述一螺钉端子的1、2端口剩下的端口和另一螺钉端子的端口，每两个一组，分别接到三个底座的剩下的端口上，用于传输信号。

进一步的，所述连接件为PCB板。

进一步的，所述壳体上还设置有散热孔，所述散热孔设置于第二部分。

进一步的，所述第一部分和第二部分通过卡扣实现可拆卸连接。

进一步的，所述后表面设置导轨卡扣，用于将壳体可拆卸地连接所述电气柜。

进一步的，所述壳体为“凸”形或方形。

进一步的，所述前表面上还设置有标签。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、所述前表面和连接件设置于第一部分上，由于前表面正对操作员，因此接线变得容易，且接线通过快接插座容易插拔，同时固定牢固，不易造成插座的损坏和接错线缆；

2、便于线缆的调整：更改电器元件时，不需要将线缆焊下，只需要更改可拆卸的螺钉端子的接线，此外增加或取消电器元件时，只需对应增加或减少快接插座数量即可；

3、连接件置于第一部分上，因此操作员可以很容易地将第一部分连同连接件从第二部分上拆卸下来，便于维护。

附图说明