[实用新型]一种透镜真空镀膜装置有效
申请号: | 202223388581.X | 申请日: | 2022-12-13 |
公开(公告)号: | CN219315044U | 公开(公告)日: | 2023-07-07 |
发明(设计)人: | 李超;许耒兵 | 申请(专利权)人: | 广州同辉光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/50 |
代理公司: | 广州科跃云专利商标代理事务所(普通合伙) 44919 | 代理人: | 李瑶 |
地址: | 510800 广东省广州市花*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透镜 真空镀膜 装置 | ||
1.一种透镜真空镀膜装置,包括镀膜舱体(1)和镀膜槽主体(12),其特征在于:所述镀膜舱体(1)内壁的底部固定安装有限位架(11),所述镀膜槽主体(12)拆卸式连接在限位架(11)的内壁上,所述镀膜舱体(1)的正面拆卸式连接有密封门板一(2),所述密封门板一(2)的内壁上固定安装有钢化玻璃(3),所述镀膜舱体(1)的右侧设置有真空处理机构(4),所述镀膜舱体(1)的顶部和内腔中设置有浸没式镀膜机构(5);
所述真空处理机构(4)包括抽真空单元和气体复位单元,所述浸没式镀膜机构(5)包括旋转行进单元和夹持单元;
所述抽真空单元包括密封连接方框(41),所述密封连接方框(41)固定安装在镀膜舱体(1)的右侧,所述密封连接方框(41)的内壁上固定安装有封闭隔板(42),所述封闭隔板(42)的顶部固定安装有真空泵(43),所述真空泵(43)的工作管与镀膜舱体(1)的右侧固定连接,所述密封连接方框(41)的正面拆卸式连接有密封门板二(44)。
2.根据权利要求1所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述气体复位单元包括回流气孔(45)、电磁阀(451)和过滤隔板(452),所述回流气孔(45)开设在密封连接方框(41)的右侧,所述电磁阀(451)固定连接在镀膜舱体(1)的右侧,所述过滤隔板(452)固定安装在密封连接方框(41)的内壁上。
3.根据权利要求2所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述过滤隔板(452)顶部的中心处开设有通孔(453),所述过滤隔板(452)的顶部拆卸式连接有活动环(454),所述活动环(454)的内壁上固定安装有陶瓷纤维网(455)。
4.根据权利要求1所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述旋转行进单元包括支撑架(51)和密封环(53),所述支撑架(51)固定安装在镀膜舱体(1)的顶部,所述支撑架(51)的顶部固定安装有步进伸缩杆(52),所述密封环(53)固定安装在镀膜舱体(1)的顶部。
5.根据权利要求4所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述步进伸缩杆(52)的伸展件的外壁与密封环(53)的内壁滑动连接,所述步进伸缩杆(52)的伸展件的底部延伸至镀膜舱体(1)的内腔中固定连接有承接架(54)。
6.根据权利要求5所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述承接架(54)内壁的底部固定安装有步进电机(55),所述承接架(54)的底部转动连接有旋转盘(56),所述步进电机(55)的输出轴与旋转盘(56)的顶部固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述夹持单元包括滑槽块(561)和固定块(563),所述滑槽块(561)固定安装在旋转盘(56)的底部,所述滑槽块(561)的底部滑动连接有滑动块(562),所述固定块(563)固定安装在旋转盘(56)的底部,所述固定块(563)的外壁上固定安装有弹性件(564)。
8.根据权利要求7所述的一种透镜真空镀膜装置,其特征在于:所述弹性件(564)远离固定块(563)的一端与滑动块(562)的外壁固定连接,所述滑动块(562)的外壁上固定安装有夹持折板(565),所述夹持折板(565)的外壁上设置有圆形凸起(566)。
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