[实用新型]一种基板真空吸板装置

权利要求书

1.一种基板真空吸板装置，其特征在于，包括：

基板放置台(1)，所述基板放置台(1)上穿设有气孔(101)，所述气孔(101)避开设置在基板放置台(1)表面的螺栓孔填充满整个基板放置台(1)表面；

排气装置(2)，所述排气装置(2)通过螺栓(7)固定在基板放置台(1)下方；

升降装置(3)，所述升降装置(3)设置在排气装置(2)下方，所述升降装置(3)顶部的顶杆(303)与排气装置(2)中真空板(201)远离基板放置台(1)的一端相连；

平衡装置(4)，所述平衡装置(4)设置在升降装置(3)的四周，顶部与真空板(201)相连；

推料装置(5)，所述推料装置(5)设置在基板放置台(1)的一侧，底部与真空板(201)相连；

底座(6)，所述底座(6)设置在升降装置(3)底部，底座(6)上预设有定位孔通过穿设定位销与滑台无杆气缸相连。

2.根据权利要求1所述的基板真空吸板装置，其特征在于，所述排气装置(2)包括：

真空板(201)，所述真空板(201)位于基板放置台(1)的底部，通过螺栓(7)与基板放置台(1)相连，所述真空板(201)靠近基板放置台(1)的端面上设置有相连的凹槽组成气道(204)；

吸嘴(202)，所述吸嘴(202)穿设在真空板(201)的底部，所述吸嘴(202)的顶端与气道(204)相连；

进风管(203)，所述进风管(203)穿设在真空板(201)的一侧，所述进风管(203)的顶端与气道(204)相连。

3.根据权利要求2所述的基板真空吸板装置，其特征在于，所述升降装置(3)包括：

升降双杆气缸(301)，所述升降双杆气缸(301)放置在底座(6)上，顶部设置有滑块(302)，滑块(302)上方设置有顶杆(303)，所述顶杆(303)顶端连接真空板(201)。

4.根据权利要求3所述的基板真空吸板装置，其特征在于，所述平衡装置(4)包括：

定位板(401)，所述定位板(401)位于真空板(201)与升降双杆气缸(301)之间，所述定位板(401)下方设置有限位板(402)；

限位板(402)，所述限位板(402)中间设有限位槽(408)，所述限位板(402)通过限位槽(408)套设在升降双杆气缸(301)的气缸壁上，并通过下方的固定板(403)与底座(6)相连；

平衡顶柱(404)，所述平衡顶柱(404)穿设在定位板(401)四周，所述平衡顶柱(404)上设有螺纹与定位板(401)螺纹锁定，所述平衡顶柱(404)一端抵住在真空板(201)，另一端穿过限位板(402)并向下延伸；

激光传感器(405)，所述激光传感器(405)通过L型支架(407)设置在定位板(401)的一侧，在激光传感器(405)的感应头上方对应上方基板放置台(1)的位置上设置有通孔(406)。

5.根据权利要求4所述的基板真空吸板装置，其特征在于，所述推料装置(5)包括：

L型板(501)，所述L型板(501)中竖板顶端与真空板(201)相连，横版上从下至上分别设置有U型块(502)和Z型延长推板(503)。