[实用新型]一种电路集成柜

说明书

本实用新型属于工业制造设备技术领域，公开了一种电路集成柜，用于扩散炉，包括设于扩散炉主体一侧的电路集成柜柜体，电路集成柜柜体与扩散炉主体之间设置有用于隔热的隔热框，电路集成柜柜体的顶部安装有用于将隔热框内部热量向外部排出的散热组件；本实用新型电路集成柜柜体与扩散炉主体之间设置有隔热框，可以减少扩散炉主体工作产生的热量对电路集成柜柜体造成的影响，且在正常使用过程中通过风机将隔热框中的热量经过散热管向外部排出，在风机散热效果不足的时候，可以通过半导体制冷片对冷却箱内部的介质进行冷却，以降低风机抽取空气的温度，进一步降低隔热框内部的温度，有效对电路集成柜柜体进行隔热保护。

技术领域

本实用新型涉及工业制造设备技术领域，具体为一种电路集成柜。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉的使用往往要配备电路集成柜加以控制，但是现有的电路集成柜在使用过程中由于装置整体本身产生热量，并且和扩散炉配合使用可能造成电路集成柜内部温度升高，这样会大大降低装置使用寿命。

申请号为202021912932.0的中国专利公开了一种带加热控制散热装置的太阳能扩散炉，太阳能扩散炉的左侧为加热控制变压电柜和控制电路板，太阳能扩散炉的右侧为炉膛区，炉膛区与左侧的加热控制变压电柜、控制电路板安装区通过隔热板分开，加热控制变压电柜和控制电路板安装区通过隔风板分割成上下两部，控制电路板的左侧安装出风口对着控制电路板的第一风扇，隔风板中央有通孔槽安装出风口对着下方的第二风扇。使用该实用新型能保证控制电路板的环境温度接近常温。

上述专利在实际使用过程中还存在一些较为明显的缺陷，该装置炉膛区与控制柜为相邻设置，并通过两个风扇对控制电路板进行散热，只能够对控制电路板进行被动散热，控制电路板仍然存在被高温威胁的危险，不能够有效对高温进行隔绝，由此，我们提出一种新型电路集成柜，以更适合扩散炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电路集成柜，具备能够及时有效对电路集成柜进行隔热的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种电路集成柜，包括电路集成柜柜体，所述电路集成柜柜体上设有用于隔热的隔热框，所述电路集成柜柜体的顶部安装有用于将隔热框内部热量向外部排出的散热组件；

所述散热组件包括固定安装于电路集成柜柜体顶部的冷却箱，所述电路集成柜柜体的顶部且位于冷却箱的正面固定安装有风机，所述风机的排风端连通有排气管，所述排气管远离风机的一端与隔热框的顶部连通。

优选的，所述冷却箱的内腔设有弯管，所述弯管的一端贯穿冷却箱并延伸至冷却箱的外部与风机的进风端连通，所述弯管的另一端贯穿冷却箱并延伸至冷却箱的外部安装有过滤组件。

优选的，所述过滤组件包括固定安装于冷却箱顶部的过滤壳，所述过滤壳的内腔固定安装有过滤板，所述弯管的一端与过滤壳的底部连通。

优选的，所述冷却箱内腔的底部固定安装有半导体制冷片，所述半导体制冷片的散热端贯穿冷却箱并延伸至冷却箱的外部。

优选的，所述隔热框内腔底部的前后两端均固定安装有导流块，所述导流块的表面呈弧形设置。

优选的，所述隔热框的顶部且位于远离排气管的一端连通有散热管，所述散热管的顶部设有防护组件。

优选的，所述防护组件包括设于散热管上方的防护罩，所述防护罩的底部固定安装有支撑杆，所述支撑杆的底端与隔热框的顶部固定连接。

优选的，所述冷却箱的一侧开设有安装槽，所述安装槽的内腔固定安装有玻璃板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：