[实用新型]一种管状ITO靶材成型模具的固定装置

权利要求书

1.一种管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：包括上固定板、下固定板和多根拉杆，拉杆上设置有锁紧部件，拉杆和锁紧部件将上固定板和下固定板连接，上固定板和下固定板夹紧位于两者之间的管状ITO靶材成型模具。

2.根据权利要求1所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述上固定板的下表面和下固定板的上表面分别设置有对模具定位的定位结构。

3.根据权利要求2所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述定位结构为凸出于相应表面的定位环，定位环的内径和模具上端盖或下端盖的外径相吻合。

4.根据权利要求3所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述定位环为封闭的圆环形结构。

5.根据权利要求3所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述定位环由多个位于同一圆周的定位凸块均匀间隔分布组成。

6.根据权利要求3所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述定位环通过螺钉安装在相应的固定板上。

7.根据权利要求2所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述定位结构为设置在相应表面的下沉式的凹槽，凹槽的内径和模具上端盖或下端盖的外径相吻合。

8.根据权利要求1所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述拉杆一端固定在下固定板上，另一端从上固定板的通孔穿过，拉杆上部设置有外螺纹，所述锁紧部件为螺接在拉杆上部的锁紧螺母。

9.根据权利要求1所述的管状ITO靶材成型模具的固定装置，其特征在于：所述上固定板和下固定板上分别设置上下对应的通孔，上固定板的通孔为光孔，下固定板的通孔为螺纹孔，所述拉杆下端螺纹连接在下固定板的螺纹孔内，拉杆上端设置有外螺纹并穿过上固定板的通孔，所述锁紧部件为螺接在拉杆上端的锁紧螺母。