[实用新型]用于低温恒温器的氦气控制装置及离子阱量子计算机

权利要求书

1.一种用于低温恒温器的氦气控制装置，其中，气压所述低温恒温器用于为离子阱装置提供稳定的低温环境，所述离子阱装置用于囚禁微粒；其特征在于，

所述氦气控制装置包括：供气组件、抽气组件和卸压组件；

所述供气组件、所述抽气组件、所述卸压组件依次连接至四通接头的第一端、第二端和第三端；

所述四通接头的第四端与所述氦气减振型低温恒温器中的氦气隔振腔连通。

2.根据权利要求1所述的氦气控制装置，其特征在于，所述供气组件包括：通过充注管路依次连接的氦气储气罐、流量调节阀、流量传感器和第一电磁阀，第一电磁阀连接至所述四通接头的第一端。

3.根据权利要求2所述的氦气控制装置，其特征在于，所述供气组件还包括第一压力传感器。

4.根据权利要求1所述的氦气控制装置，其特征在于，所述抽气组件包括：三通阀、分子泵、止回阀、机械泵和第二电磁阀，其中，

所述机械泵的出气口与大气环境连通，所述机械泵的进气口连接至三通阀的第一端，且所述机械泵的进气口经止回阀连接至所述分子泵的出气口，所述分子泵的进气口连接至所述三通阀的第二端，所述三通阀的第三端经所述第二电磁阀连接至四通接头第二端。

5.根据权利要求1所述的氦气控制装置，其特征在于，所述卸压组件包括：

卸压阀，进气端经放气管路连接至所述四通接头的第三端，出气端与大气环境连通。

6.根据权利要求5所述的氦气控制装置，其特征在于，所述卸压阀为单向可控导通的卸压阀。

7.根据权利要求1所述的氦气控制装置，其特征在于，所述四通接头第四端与所述氦气隔振腔之间设置有第二压力传感器。

8.一种离子阱量子计算机，其特征在于，包括权利要求1至7中任意一项所述的氦气控制装置。