[实用新型]一种高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备

权利要求书

1.一种高精度蒸镀对位系统，其用于屏幕组件的生产加工，其包括：

玻璃基板支撑架，其支撑玻璃基板的边缘部，以在所述玻璃基板的中部形成上蒸镀区；以及

掩膜板支撑架，其支撑金属掩膜板的边缘部，以在所述金属掩膜板的中部形成下蒸镀区；

其特征在于，所述玻璃基板支撑架的上方配置有：

静电吸附装置，其用于吸附所述玻璃基板以使所述上蒸镀区平整；以及

磁性吸附装置，所述用于吸附所述金属掩膜板以使所述下蒸镀区平整；

其中，所述静电吸附装置和磁性吸附装置被配置为，其共同地使得所述玻璃基板和金属掩膜板在蒸镀过程中保持平整地贴合。

2.根据权利要求1所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，在所述静电吸附装置和所述磁性吸附装置之间还设有冷却件。

3.根据权利要求2所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，所述冷却件设有冷却通道，所述冷却通道用于流通冷却介质。

4.根据权利要求1所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，所述磁性吸附装置设置于背离所述静电吸附装置吸附所述玻璃基板的面的一侧，所述磁性吸附装置产生的磁吸力用于穿过所述静电吸附装置和所述玻璃基板使所述掩膜板紧贴于所述玻璃基板。

5.根据权利要求1所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，所述静电吸附装置与所述磁性吸附装置交错排列设置。

6.根据权利要求5所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，所述静电吸附装置设置为纵横交错的网格状结构，所述磁性吸附装置设置为在所述静电吸附装置吸附所述玻璃基板的面的投影方向上与所述静电吸附装置不重叠。

7.根据权利要求6所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，所述磁性吸附装置设置于所述静电吸附装置吸附所述玻璃基板的面的一侧或者相对的另一侧。

8.根据权利要求1所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，所述静电吸附装置包括至少两个静电吸附件，所述至少两个静电吸附件中至少一个连接正电极且至少一个连接负电极。

9.根据权利要求8所述的高精度蒸镀对位系统，其特征在于，连接不同电极的相邻的所述静电吸附件之间设有绝缘件。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的高精度蒸镀对位系统。