[实用新型]一种蒸镀掩膜版

权利要求书

1.一种蒸镀掩膜版，其特征在于，包括掩膜框架、掩膜网片和支撑架；所述掩膜框架具有贯穿上下的通孔，所述掩膜网片位于所述掩膜框架的上方并设在所述通孔内，所述掩膜网片与所述掩膜框架连接，所述掩膜网片具有多个贯穿上下的掩膜通孔，所述掩膜网片的下表面设有多个待支撑点，所述支撑架设有多个支撑部，所述支撑架的下端与所述通孔的内壁面连接，多个所述支撑部分别与多个所述待支撑点连接，沿上下方向看，所述支撑架避让所述掩膜通孔设置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述掩膜网片包括支撑掩膜条和遮挡掩膜条，所述支撑掩膜条和遮挡掩膜条一体成型，所述支撑掩膜条沿前后延伸，所述支撑掩膜条设有多根且沿左右间隔排布，所述遮挡掩膜条沿左右延伸，所述遮挡掩膜条设有多根且沿前后间隔排布，相邻两根所述支撑掩膜条与相邻两根所述遮挡掩膜条共同限定出所述掩膜通孔。

3.根据权利要求2所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述掩膜网片通过张网工艺焊接在所述掩膜框架。

4.根据权利要求2所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，每根所述支撑掩膜条沿其长度方向设有多个所述待支撑点，所述支撑架设有多个，多个所述支撑架沿左右排布并与多根所述支撑掩膜条相对应，每个所述支撑架包括多根倾斜设置的支撑条，多根所述支撑条的上端分别与多个所述待支撑点连接。

5.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述待支撑点设在所述支撑掩膜条和所述遮挡掩膜条的连接处。

6.根据权利要求5所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，每根所述支撑掩膜条的前侧和后侧均设有所述支撑架，位于所述支撑掩膜条前后两侧的两个所述支撑架关于所述支撑掩膜条的中部对称设置。

7.根据权利要求6所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，在每个所述支撑架中，多根所述支撑条的下端相连接，并与所述掩膜框架连接。

8.根据权利要求7所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，沿上下方向看，所述支撑条与所述支撑掩膜条重合。

9.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述支撑条的横截面形状为方形。

10.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述支撑条为金刚石条、石英条、玻璃条和因瓦金属条中的一种。