[实用新型]一种单晶炉热屏挂件防倾倒挂板有效
申请号: | 202223549974.4 | 申请日: | 2022-12-30 |
公开(公告)号: | CN219195200U | 公开(公告)日: | 2023-06-16 |
发明(设计)人: | 罗昌萍;李安君;吴超慧;李永刚;许堃;王艳霞 | 申请(专利权)人: | 宇泽半导体(云南)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝族自治州楚*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉热屏 挂件 倾倒 | ||
本实用新型涉及一种单晶炉热屏挂件防倾倒挂板,属于单晶炉挂板领域;所述单晶炉热屏挂件防倾倒挂板包括挂板本体,所述挂板本体水平固定安装在水冷屏的输水管道上,挂板本体两端位于输水管道两侧处对称设置有用于挂接挂件的挂接口,所述挂接口为由横向挂接口和竖向挂接口组成的封闭式“T字型”结构;通过设有封闭式挂接口的挂板本体取代了开放式挂接口的原挂板,封闭式的挂接口可有效限制挂件脱离挂板本体,从而可有效避免单晶炉循环段加料结束后热屏下降至下限位,水冷屏仍继续向下降低时挂件因发生向外倾倒而脱离挂板本体的情况,进而可确保后续单晶炉循环段加料提升水冷屏时,水冷屏可带动热屏一同上升,保障单晶炉循环段加料的正常进行。
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉热屏挂件防倾倒挂板,属于单晶炉挂板领域。
背景技术
单晶炉是通过直拉法生产单晶硅的设备,现有单晶炉中,通常配备有呈上下贯通的筒形结构的热屏装置,拉晶过程中,热屏可有效阻隔高温炉体以及熔硅对晶体的热辐射,起热屏蔽作用,利于晶体散热,形成晶体生长所需的温度梯度;此外,单晶炉内位于热屏上方还设置有水冷屏,在单晶炉运行拉制单晶时,单晶炉中心处挂有单晶硅棒,热屏和水冷屏起到给单晶硅棒保温以及防止热场漏热的作用,在单晶炉循环段加料的过程中,热屏伴随着水冷屏的升降进行有序循环的加料,水冷屏及热屏能否正常升降对单晶炉是能否进入循环拉晶起着重要作用。
现有单晶炉中,水冷屏的输水管道1上水平固定安装有原挂板4,热屏外侧上安装有由竖向挂杆21和横向挂杆22组成的 “T字型”结构的挂件2,单晶炉循环段加料时,在热屏和水冷屏提升过程中,挂件2挂接在原挂板4上,从而使水冷屏带动热屏一同上升。但是,在现有单晶炉的热屏挂件2与原挂板4的设计下,挂件2的竖向挂杆21较长,而原挂板4的挂接口为开放式结构,因此,在单晶炉循环段加料结束后,热屏和水冷屏一同下降,当热屏下降至下限位后,水冷屏仍需继续向下降低,此时,挂件2的竖向挂杆21有可能会发生向外倾倒,若挂件2倾倒将使得挂件2脱离原挂板4,这就导致了在后续单晶炉循环段加料提升水冷屏时,热屏上的挂件2与水冷屏输水管道1上的原挂板4呈现分离状态,提升水冷屏无法同时提升热屏,热屏上的挂件2依然处于整个热场上,造成了单晶炉循环段加料无法进行,只能被迫等待单晶硅棒拉完并停炉,严重干扰了单晶炉的正常生产作业。
实用新型内容
为了克服背景技术中存在的问题,本实用新型提出了一种单晶炉热屏挂件防倾倒挂板,通过将挂板本体水平固定安装在水冷屏的输水管道上,从而通过设有封闭式挂接口的挂板本体取代了开放式挂接口的原挂板,封闭式的挂接口可有效限制挂件脱离挂板本体,从而可有效避免单晶炉循环段加料结束后热屏下降至下限位,水冷屏仍继续向下降低时挂件因发生向外倾倒而脱离挂板本体的情况,进而可确保后续单晶炉循环段加料提升水冷屏时,水冷屏可带动热屏一同上升,保障单晶炉循环段加料的正常进行。
为解决上述问题,本实用新型通过如下技术方案实现:
所述单晶炉热屏挂件防倾倒挂板包括挂板本体,所述挂板本体水平固定安装在水冷屏的输水管道上,挂板本体两端位于输水管道两侧处对称设置有用于挂接挂件的挂接口,所述挂接口为由横向挂接口和竖向挂接口组成的封闭式“T字型”结构,横向挂接口与竖向挂接口相垂直,竖向挂接口与输水管道相垂直,且横向挂接口与竖向挂接口相连通。
优选地,所述横向挂接口和竖向挂接口的宽度略大于挂件的竖向挂杆的直径。
优选地,所述横向挂接口的长度略小于挂件的横向挂杆的长度。
本实用新型的有益效果为:
本实用新型通过将挂板本体水平固定安装在水冷屏的输水管道上,从而通过设有封闭式挂接口的挂板本体取代了开放式挂接口的原挂板,封闭式的挂接口可有效限制挂件脱离挂板本体,从而可有效避免单晶炉循环段加料结束后热屏下降至下限位,水冷屏仍继续向下降低时挂件因发生向外倾倒而脱离挂板本体的情况,进而可确保后续单晶炉循环段加料提升水冷屏时,水冷屏可带动热屏一同上升,保障单晶炉循环段加料的正常进行。
附图说明
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