[实用新型]一种用于PCVD的谐振腔

说明书

本实用新型提供了一种用于PCVD的谐振腔，包括波导管、盖板，盖板可拆卸连接于波导管的一端，盖板上开有光滑的曲面凹槽，曲面凹槽反射电磁波形成了聚焦电磁波的聚焦位。本实用新型有益效果：本装置通过利用电磁波传输、反射的特性，以及曲面凹槽对电磁波聚焦的特性，实现将微波能量聚焦于穿过该谐振腔的石英衬管内，被石英衬管内的气体介质更充分吸收，使气体介质转变成等离子态快速进行化学反应，相对于现有技术，本装置对微波的利用率更高。

技术领域

本实用新型属于光纤制造领域，尤其是涉及一种用于PCVD的谐振腔。

背景技术

在PCVD(Plasma Chemical Vapor Deposition，等离子体化学气相沉积法)工艺制造光纤预制棒的过程中，需将SiCl4、GeCl4、O2及其他工艺气体原料送入一根石英衬管内，石英管置于高温炉内预热，同时石英衬管也穿过置于炉内的谐振腔。气体原料在石英衬管内的高温环境下，被微波激发成等离子态，各种介质在等离子状态下有利于快速进行化学反应，生成光纤预制棒所需的各种成分(不同折射率)，最终形成光纤预制棒所需的材料。

现有技术中，微波能量无法集中，导致对于微波能量的利用率较低，如何高效、稳定的利用微波能量，将工艺介质转化成等离子体，再进行化学反应生成所需的成分，是需要解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种用于PCVD的谐振腔，以解决现有技术中，微波能量无法集中，导致对于微波能量的利用率较低的问题，以及如何高效、稳定的利用微波能量，将工艺介质转化成等离子体，再进行化学反应生成所需的成分的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于PCVD的谐振腔，包括波导管、盖板；

所述盖板可拆卸连接于波导管的一端；

所述盖板上开有内凹的曲面凹槽；

所述曲面凹槽的横截面为抛物线结构；

所述曲面凹槽反射电磁波形成了聚焦电磁波的聚焦位。

进一步的，所述波导管两侧开有与聚焦位相对应的连接孔；

所述连接孔内设有石英衬管，所述石英衬管贯穿连接孔；

所述聚焦位为一条直线，聚焦位形成的直线的位置与石英衬管轴线的位置重合。

进一步的，所述盖板上开有多个安装孔；

所述波导管与盖板连接的一端固设有安装板；

所述安装板上螺纹连接有沉头螺栓，所述沉头螺栓贯穿安装孔；

所述沉头螺栓的螺栓帽压紧盖板。

进一步的，所述波导管外侧临近连接孔的位置上可拆卸连接有扼流管；

所述扼流管(3)与石英衬管(4)间隙配合设置；

所述扼流管的轴线与连接孔的轴线重合。

进一步的，所述扼流管贴近波导管的一端固设有连接板；

所述连接板上开有安装孔，所述波导管上螺纹连接有安装螺栓；

所述安装螺栓贯穿安装孔，所述安装螺栓的螺栓帽压紧连接板。

进一步的，所述波导管远离盖板的一端可拆卸连接有输入管；

所述输入管贴近波导管的一端固设有装配板一，所述波导管贴近输入管的一端固设有装配板二；

所述装配板一上开有多个装配孔一，所述装配板二上开有多个与装配孔一相对应的装配孔二；