[实用新型]气浮导轨及应用气浮导轨的晶圆检测气浮运动平台

权利要求书

1.一种气浮导轨，包括导轨机构(1)、设置在所述导轨机构(1)上的溜板机构(2)、驱动所述溜板机构(2)在所述导轨机构(1)上移动的驱动机构，所述导轨机构(1)与所述溜板机构(2)间设有气浮腔，其特征在于：所述溜板机构(2)上设有若干个节流孔，所述节流孔用于通气后在所述气浮腔中形成气膜，所述气膜的厚度为6-10um，所述节流孔沿所述溜板机构(2)移动方向均匀排布形成节流孔排，所述节流孔排至少设有一排，各所述节流孔的孔径均为18-22um，各所述节流孔入口处供气压力均为4-5.5bar，所述节流孔排中各相邻所述节流孔间的孔距均为1-5mm。

2.根据权利要求1所述的气浮导轨，其特征在于：所述溜板机构(2)呈C形，所述溜板机构(2)包括设置在所述导轨机构(1)上部的上溜板(2a)、设置在所述导轨机构(1)两侧的侧板(2b)、设置在所述导轨机构(1)底部的下溜板(2c)，所述侧板(2b)的一端与所述上溜板(2a)连接，所述侧板(2b)的另一端与所述下溜板(2c)连接；所述驱动机构为布置在所述溜板机构(2)与所述导轨机构(1)间的第一直线电机(3)；所述上溜板(2a)的两侧均设有至少两排所述节流孔排，所述侧板(2b)、所述下溜板(2c)上均设有至少两排所述节流孔排，各相邻所述节流孔排间的距离大于10um。

3.根据权利要求2所述的气浮导轨，其特征在于：所述导轨机构(1)上设有限位块(4)，所述限位块(4)用于阻止所述溜板机构(2)移出所述导轨机构(1)。

4.根据权利要求3所述的气浮导轨，其特征在于：还包括位移传感器，所述位移传感器用于测量所述溜板机构(2)相对所述导轨机构(1)的移动距离。

5.根据权利要求4所述的气浮导轨，其特征在于：所述位移传感器为第一光栅尺传感器。

6.一种晶圆检测气浮运动平台，包括第一基座(5)、固定在所述第一基座(5)上的第一气浮导轨(6)、固定在所述第一气浮导轨(6)的溜板上的第二气浮导轨(7)、固定在所述第二气浮导轨(7)的溜板上的移动装置(8)、固定在所述移动装置(8)上的显微相机模组，所述第一气浮导轨(6)沿X轴方向移动，所述第二气浮导轨(7)沿Y轴方向移动，所述移动装置(8)用于将所述显微相机模组沿Z轴方向移动，所述显微相机模组用于检测晶圆，其特征在于：所述第一气浮导轨(6)与所述第二气浮导轨(7)均采用权利要求1-5中任一所述的气浮导轨。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测气浮运动平台，其特征在于：所述移动装置(8)包括与所述第二气浮导轨(7)的溜板连接的第二基座(8a)、定子端固定在所述第二基座(8a)上的第二直线电机(8b)、与所述第二直线电机(8b)动子端连接的移动板(8c)，所述显微相机模组固定在所述移动板(8c)上。

8.根据权利要求6所述的晶圆检测气浮运动平台，其特征在于：所述第二气浮导轨(7)的溜板与所述移动装置(8)均与加强件(9)连接。

9.根据权利要求7所述的晶圆检测气浮运动平台，其特征在于：所述第二基座(8a)与所述移动板(8c)间设有平衡气缸(10)。

10.根据权利要求7所述的晶圆检测气浮运动平台，其特征在于：所述移动装置(8)包括第二光栅尺传感器，所述第二光栅尺传感器用于测量所述移动板(8c)相对所述第二基座(8a)的移动距离。