[发明专利]单元对单元比较方法在审
| 申请号： | 202280005608.6 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN115989531A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 朴泰勋;郑俊喜;拉姆·塞加尔;埃胡德·加拜;埃拉·门德尔松;埃亚尔·沙穆尔 | 申请（专利权）人： | 纳科新 |
| 主分类号： | G06V10/75 | 分类号： | G06V10/75 |
| 代理公司： | 北京市集佳律师事务所 16095 | 代理人： | 苏琳琳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单元 比较 方法 | ||
1.一种单元对单元比较方法，用于检查周期性地排列有能够由二维向量表示的单位单元的被检物的缺陷，其中，包括以下步骤：
获得包含所述单位单元的阵列的所述被检物的图像；
从所述图像生成与所述阵列内的多个单位单元的相同位置对应的像素的集合即块；
决定所述块内的多个像素各自的灰阶；以及
基于决定的所述多个像素各自的灰阶，来判定所述块内的多个像素是否有缺陷。
2.根据权利要求1所述的单元对单元比较方法，其中，
在判定所述块内的多个像素是否有缺陷的步骤中，
通过将所述块内的多个像素中的当前是否有缺陷的判定对象像素的灰阶从所述块内的多个像素中的除了所述当前是否有缺陷的判定对象像素以外的像素的灰阶的平均值偏离的程度与指定的临界值进行比较，从而进行所述是否有缺陷的判定。
3.根据权利要求1所述的单元对单元比较方法，其中，
在判定所述块内的多个像素是否有缺陷的步骤中，
利用所述块内的多个像素中的当前是否有缺陷的判定对象像素的灰阶、以及所述块内的多个像素中的除了所述当前是否有缺陷的判定对象像素以外的像素的灰阶的平均值和标准偏差。
4.根据权利要求3所述的单元对单元比较方法，其中，
在判定所述块内的多个像素是否有缺陷的步骤中，
包括求出所述块内的多个像素中的除了所述当前是否有缺陷的判定对象像素以外的像素的灰阶的平均值和标准偏差的步骤。
5.根据权利要求4所述的单元对单元比较方法，其中，
在判定所述块内的多个像素是否有缺陷的步骤中，
还包括计算所述块内的多个像素中的当前是否有缺陷的判定对象像素的灰阶与所述平均值之差的绝对值的步骤。
6.根据权利要求5所述的单元对单元比较方法，其中，
在判定所述块内的多个像素是否有缺陷的步骤中，
还包括所述绝对值除以所述标准偏差的步骤。
7.根据权利要求5所述的单元对单元比较方法，其中，
在判定所述块内的多个像素是否有缺陷的步骤中，
还包括将所述绝对值除以所述标准偏差而得的值与指定的临界值进行比较的步骤。
8.根据权利要求1所述的单元对单元比较方法，其中，
包括显示所述判定出的所述多个像素的缺陷结果的步骤。
9.根据权利要求1所述的单元对单元比较方法，其中，
在决定所述块内的多个像素各自的灰阶的步骤中，
决定的所述灰阶包括噪声。
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