[发明专利]用于化学机械研磨的热水生成

权利要求书

1.一种化学机械研磨系统，包含：

平台，所述平台用以支撑研磨垫；

承载头，所述承载头用以固持基板与所述研磨垫接触；

电机，所述电机用以在所述平台与所述承载头之间生成相对运动；

蒸汽生成器，所述蒸汽生成器包括容器和加热元件，所述容器具有进水口和一个或多个蒸汽出口，且所述加热元件被配置成施加热量至下腔室的一部分以生成蒸汽；

喷嘴，所述喷嘴被定向以将蒸汽从所述蒸汽生成器输送至所述研磨垫上；

水箱，所述水箱用以固持清洁流体；

第一阀，所述第一阀位于所述容器与所述喷嘴之间的第一流体管线中，以将所述容器与所述喷嘴可控地连接和断开；

第二阀，所述第二阀位于所述容器与所述水箱之间的第二流体管线中，以将所述容器与所述水箱可控地连接和断开，使得来自所述容器的蒸汽加热所述水箱中的流体；以及

控制系统，所述控制系统耦接至所述第一阀及所述第二阀，所述控制系统被配置成使得所述第一阀及所述第二阀打开和关闭。

2.如权利要求1所述的系统，进一步包含用于清洁调节器头的调节器头清洁站，并且其中所述水箱被耦接至所述调节器头清洁站以将清洁流体供应至所述调节器头上。

3.如权利要求1所述的系统，进一步包含用于冲洗所述承载头的承载头冲洗站，并且其中所述水箱被耦接至所述承载头冲洗站以将清洁流体供应至所述承载头上。

4.如权利要求1所述的系统，进一步包含具有一个或多个孔口的垫冲洗臂，并且其中所述水箱被耦接至所述垫冲洗臂以通过所述一个或多个孔口将所述清洁流体供应至所述研磨垫上。

5.如权利要求1所述的系统，进一步包含围绕所述平台的外壳，并且其中所述水箱被耦接至喷嘴，所述喷嘴被配置成将清洁流体输送至所述外壳的内表面。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二流体管线被耦接至所述水箱，以将所述蒸汽注入至所述水箱中的流体中。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第二流体管线被耦接至所述水箱的底板。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二流体管线被耦接至所述水箱外部的热交换器。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制系统被配置成使一次仅打开所述第一阀和第二阀中的一者。

10.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制系统被配置成使所述第一阀和所述第二阀两者在回收阶段的第一部分期间关闭。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述控制系统被配置成使所述第二阀在所述回收阶段的第二部分期间打开。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述控制系统被配置成当所述容器内部达到期望的蒸汽压力时打开所述第二阀并开始所述回收阶段的所述第二部分，以将多余的压力排放到所述第二流体管线中。

13.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述控制系统被配置成在所述回收阶段的所述第二部分之后的分配阶段期间，使得所述第二阀关闭并且所述第一阀打开。

14.一种操作化学机械研磨系统的方法，包含以下步骤：

在回收阶段的第一部分期间加热容器中的水以生成蒸汽；

在所述回收阶段的第二部分期间，保持第一阀关闭并打开第二阀，以将蒸汽从所述容器引导至水箱，以加热所述水箱中的清洁流体；

在分配阶段期间，打开所述第一阀并关闭所述第二阀，以将蒸汽从所述容器引导至所述化学机械研磨系统的研磨垫；以及

将经加热的清洗流体从所述容器引导至所述研磨系统的另一部件。