[发明专利]一种基于卤化物钙钛矿异质结自驱动光电探测的构型设计

权利要求书

1.一种基于卤化物钙钛矿异质结自驱动光电探测器，其特征在于，包括：底座（1）和位于底座上的衬底（2），光吸收层中的金属氧化物薄膜（3）和卤化物钙钛矿薄膜（4），叉指电极（5）和电极（6）以及外部电源（7）；

所述光吸收层中金属氧化物薄膜（3）位于衬底（2）上；

所述光吸收层中钙钛矿卤化物薄膜（4）位于金属氧化物薄膜（3）上；

所述叉指电极（5）位于卤化物钙钛矿薄膜（4）上。

2.如权利要求1所述的一种基于卤化物钙钛矿异质结自驱动光电探测器，其特征在于，其宽度为40~45µm，长度为135~140µm。

3.如权利要求1所述的一种基于卤化物钙钛矿异质结自驱动光电探测器，其特征在于其所述衬底（2）的宽度为35~40µm，长度为130~135µm，厚度为300~350µm；所述金属氧化物薄膜（3）的宽度为30~35µm，长度为125~130µm，厚度为100~200nm；所述卤化物钙钛矿薄膜（4）层的宽度为30~35µm，长度为125~130µm，厚度为200~600nm；所述的叉指电极（5）沟道宽度为9~12µm，叉指宽度为4~6µm；所述电极（6）半径为2.5µm左右，厚度为5µm左右。

4.如权利要求1所述，所述光吸收层金属氧化物薄膜（3）的材料可以为ZnO，Ga₂O₃或Al₂O₃中的一种。

5.如权利要求1所述，所述光吸收层卤化物钙钛矿薄膜（4）的材料可以为CsPbI₃，CSPbBr₃的一种。

6.如权利要求1所述，所述叉指电极的材料为Cr或Au中的一种；所述电极材料为In，Ag，Cu或Al中的一种。

7.如权利要求1所述，所述衬底可以为Si，SiO₂或蓝宝石中的一种。