[发明专利]通用型探针对位调整台

说明书

本发明公开了通用型探针对位调整台，属于探针卡技术领域，包括基座，夹持定位模块上方的中部设置有Mask支架，所述Mask支架与基座之间设置有用于对Mask支架的位置进行调节的调节件，所述第三移动台的一侧固定设置有转轴，所述固定座和固定台上均设置有第四微调分头用于对固定座的角度进行调节，所述第三移动台的另一侧设置有防护壳，刚性联轴器的端部设置有从动轴，从动轴的端部与Mask支架相连接，所述刚性联轴器上设置有角度限位环，所述第三移动台对称设置有两个用于限制角度限位环转动的第五微调分头。由此，能够对Mask支架进行五维调节，通用性较强有效的保证了作业过程中的稳定性及重复定位的精度。

技术领域

本发明涉及一种对位调整台，特别是涉及通用型探针对位调整台，属于探针卡技术领域。

背景技术

探针卡在测试应用中，与被测产品直接接触的是探针针尖部分，探针针尖的位置及状态关系着整个测试项目的良率与质量。因此，探针卡制作过程中，性能全面的“对位调整台”(下文统称为“调针机”)对于探针针尖的对位与调整工作至关重要。

夹持定位探针卡：

待调整的探针卡，其外围配件已经组装完毕，由于探针卡PCB的外形种类及尺寸规格不同，如圆形(6英寸、8英寸、12英寸、14英寸)、方形(4.5英寸、8英寸、12英寸)等，探针卡调整前需进行夹持和定位，方便后续工作。

纠正Mask与探针针尖的相对位置及平行度：

探针卡夹持固定后，其探针针尖与Mask的相对位置、平行度尚未处于理想状态，需要手动进行定位。因此，“调针机”需要具有六维调节能力，且使用过程中的稳定性、重复定位精度需要保持高度一致。

探针卡行业内，“调针机”的结构分为“垂直式”与“翻转式”两种。垂直式调针机受设备机构限制，仅有四维调节能力，无法满足不同种类的探针卡的装夹、调整要求，并且应用过程中需要配置专用真空负压系统、专用治具等，较为繁琐，通用性不强；而普通翻转式调针机，由于设备结构单一，精度限制机构跨度大，负载大，因此很难保证作业过程中的稳定性及重复定位精度满足要求。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供通用型探针对位调整台，该对位调整台能够具有五维调节能力，通用性较强有效的保证了作业过程中的稳定性及重复定位的精度。

为解决上述问题，提供以下技术方案：

设计通用型探针对位调整台，包括基座，所述基座上设置有用于对探针卡进行夹持的夹持定位模块，夹持定位模块上方的中部设置有Mask支架，所述Mask支架与基座之间设置有用于对Mask支架的位置进行调节的调节件，所述调节件包括第二移动台、第三移动台和固定座；所述第三移动台和固定座活络连接，所述固定座的一侧固定设置有转轴，转轴通过轴承转动连接有固定台，转轴的端部延伸出固定台并设置有调节座，所述固定座和固定台上均设置有第四微调分头用于对固定座的角度进行调节，所述第三移动台的另一侧设置有防护壳，防护壳内设置主动轴，主动轴的一端设置有手轮，主动轴的另一端设置有刚性联轴器，刚性联轴器的端部设置有从动轴，从动轴的端部与Mask支架相连接，所述刚性联轴器上设置有角度限位环，所述第三移动台对称设置有两个用于限制角度限位环转动的第五微调分头。

进一步的，所述调节件还包括设置于基座上表面的安装台，所述安装台的上设置有沿X轴方向运动的第一移动台，所述第二移动台在第一移动台上沿Y轴方向运动的，所述安装台的侧边设置有用于对第一移动台位置进行调节的第一微调分头，所述第一移动台的侧边设置有用于对第二移动台位置进行调节的第二微调分头，所述第三移动台在固定台上沿Z轴方向运动，所述第三移动台上设置有第三微调分头用于驱动第三移动台进行移动。

进一步的，所述基座的上表面设置有移动机构，所述移动机构包括支架，所述支架上设置有沿第一方向运动的第一滑座，第一滑座上设置有沿第二方向运动的第二滑座，所述支架上设置有工具箱。