[发明专利]老化测试箱监控系统及方法

说明书

本发明提供一种老化测试箱监控系统及方法，本发明中，设备运行数据采集单元采集老化测试箱的运行数据，并将运行数据发送至预警算法逻辑控制单元；多个温度传感器单元，分布在老化测试箱的腔室内的不同位置，各个温度传感器单元用于将采集到的温度数据发送给预警算法逻辑控制单元；预警算法逻辑控制单元，用于根据各个温度传感器发送的温度数据检测是否存在温度异常事件，当存在温度异常事件时，根据温度异常事件的等级执行对应的预警策略。通过本发明，实现了对高低温老化测试箱的可靠监控，且在存在温度异常事件时，能及时对温度异常事件进行处理。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种老化测试箱监控系统及方法。

背景技术

半导体存储器有一定的失效概率，其失效概率与使用次数之间的关系符合浴缸曲线的特性，开始使用时存储器的失效概率高，当经过一定使用次数后失效概率大幅降低，直到接近或达到其使用寿命后，存储器的失效概率又会升高。至今无任何存储器制造商敢忽略半导体存储器的失效问题，一般通过老化测试来加速存储器失效概率的出现，直接让其进入产品稳定期来解决该问题。

高低温老化测试箱的可靠运行是保证半导体芯片测试的前提条件，在实际运行中，由于高低温老化测试持续时间长以及外部环境的影响，可能出现由于传感器、控制器、断路器等电气部分的损坏造成高低温老化测试箱停机或失控，也可能由于制冷管路堵塞、电磁阀故障、冷却系统不正常等引起制冷工作异常。

当芯片在高低温老化测试过程中，高低温老化测试箱出现故障时，如不能及时发现并做采取措施处理，轻则导致测试中断影响工程进度，重则造成芯片因温度过高或过低而损坏甚至引发事故威胁人身安全，因此实现对高低温老化测试箱的可靠监控，在运行异常时及时发出预警信息并自动采取有效措施应对，具有十分重要的现实意义。

发明内容

对于高低温老化测试箱的安全可靠运行，急需要一种更高效率的高低温老化测试箱温度预警系统及算法，从而以此来替代有弊端的温度告警系统，这也正是本专利的首要出发点。本发明的主要目的在于提供一种老化测试箱监控系统及方法，旨在实现对高低温老化测试箱的可靠监控。

第一方面，本发明提供一种老化测试箱监控系统，所述老化测试箱监控系统包括预警算法逻辑控制单元、多个温度传感器单元以及设备运行数据采集单元，每个温度传感器单元采用三线式接法与预警算法逻辑控制单元直接连接，设备运行数据采集单元与预警算法逻辑控制单元直接连接，其中：

设备运行数据采集单元，用于采集老化测试箱的运行数据，并将运行数据发送至预警算法逻辑控制单元；

多个温度传感器单元，分布在老化测试箱的腔室内的不同位置，各个温度传感器单元用于将采集到的温度数据发送给预警算法逻辑控制单元；

预警算法逻辑控制单元，用于根据各个温度传感器发送的温度数据确定温度变化率，根据温度变化率检测是否存在温度异常事件，当存在温度异常事件时，根据温度异常事件的等级执行对应的预警策略。

可选的，老化测试箱监控系统还包括与预警算法逻辑控制单元直接连接的人机界面、上位机以及第一报警单元，其中：

预警算法逻辑控制单元，用于在温控程序运行后，根据各个温度传感器发送的温度数据计算得到温度变化率；当温度变化率大于第一阈值时，确定存在一级温度异常事件；发送一级温度异常事件通知至人机界面，发送一级温度异常事件对应的温度数据、运行数据以及一级温度异常事件通知至上位机，发送预警信号至第一报警单元；

人机界面，用于显示一级温度异常事件通知；

上位机，用于将一级温度异常事件对应的温度数据、运行数据以及一级温度异常事件通知关联存储；

第一报警单元，用于在接收到预警信号时进行报警。

可选的，老化测试箱监控系统还包括与预警算法逻辑控制单元直接连接的预警执行机构，其中：