[发明专利]一种水声换能器的压电敏感元件及其制备工艺

权利要求书

1.一种水声换能器的压电敏感元件，其特征在于：包括依次设置的金属后盖板、吸声层和若干组压电模块，每组包括两个所述压电模块，所述压电模块包括基底、压电小柱阵列、金属板，所述压电小柱阵列与所述基底一体连接，所述金属板固定在所述压电小柱阵列的顶端，两个所述压电模块相对设置，分别属于两个所述压电模块的所述金属板粘接在一起，其中一个所述基底的背面贴附所述吸声层，所述吸声层的背面贴附所述金属后盖板，所述金属后盖板、所述压电模块和所述吸声层均设置于防水透声层内。

2.根据权利要求1所述的一种水声换能器的压电敏感元件，其特征在于：所述基底的表面引出负电极引线，所述金属板的表面引出正电极引线，所述负电极引线和所述正电极引线穿过所述金属后盖板并伸入导线。

3.根据权利要求1所述的一种水声换能器的压电敏感元件，其特征在于：所述压电模块采用PZT系列的压电陶瓷或PMN系列的压电单晶，所述压电小柱阵列中的压电小柱之间的缝隙内填充空气。

4.根据权利要求1所述的一种水声换能器的压电敏感元件，其特征在于：所述金属板为铜板、铝板或者铁板，所述吸声层为塑料泡沫，所述金属后盖板为不锈钢材质，所述防水透声层为聚氨酯灌封胶固化而成。

5.根据权利要求1所述的一种水声换能器的压电敏感元件，其特征在于：所述压电模块的俯视图为正方形、长方形或圆形。

6.一种如权利要求1-5任意一项所述的水声换能器的压电敏感元件的制备工艺，其特征在于，步骤如下：

S1、在压电材料片的两面均镀上电极，在Z方向将压电材料片极化，沿着X和Y方向切割压电材料片，形成压电小柱阵列和与压电小柱阵列一体连接的基底；

S2、在压电小柱阵列的表面粘接金属板，形成压电模块；

S3、将两个压电模块的金属板相对设置，并通过柔性材料粘接在一起；

S4、在其中一个压电模块的基底背面贴附吸声层；

S5、在吸声层的背面贴附金属后盖板；

S6、从基底的表面引出负电极引线，从金属板的表面引出正电极引线，正电极引线和负电极引线穿过金属后盖板并伸入导线内；

S7、在压电模块、吸声层和金属后盖板的外部通过聚氨酯灌封胶固化形成防水透声层。