[发明专利]固体硅料熔化的检测方法

权利要求书

1.一种固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，包括：

步骤S1，获取单晶炉内检测区域的当前图像信息，所述检测区域包括炉内坩埚的部分区域，所述部分区域的至少部分与上方的所述导流筒口处相对设置，固体硅料在所述检测区域内熔化；

步骤S2，基于所述当前图像信息，确定所述固体硅料未熔融的第一剩余量；

步骤S3，获取所述固体硅料的实际投入量、实际投入时间和与所述实际投入量相对应的参考熔化速率，基于所述实际投入量、所述实际投入时间和所述参考熔化速率确定所述固体硅料未熔融的第二剩余量；

步骤S4，基于所述第一剩余量和所述第二剩余量，确定所述固体硅料的熔化状态。

2.根据权利要求1所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：

基于所述当前图像信息，确定在当前状态下固体硅料覆盖所述检测区域的当前面积；

若所述当前面积小于或等于所述检测区域面积的50％，发出提示信息。

3.根据权利要求1所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，

所述步骤S2包括：基于所述当前图像信息确定当前状态下固体硅料消失时，确定所述第一剩余量为零，并发出第一报警信息；

所述步骤S3包括：当所述实际投入量等于所述参考熔化速率与所述实际投入时间的乘积时，确定所述第二剩余量为零，并发出第二报警信息；

所述步骤S4包括：基于所述第一报警信息的发出时刻和所述第二报警信息的发出时刻，判定所述固体硅料是否完全熔化。

4.根据权利要求3所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，所述步骤S4具体包括：

步骤S431，当所述第一报警信息的发出时刻和所述第二报警信息的发出时刻相差在预定时间范围内时，判定所述固体硅料完全熔化。

5.根据权利要求3所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，所述步骤4具体包括：

当第一报警信息发出且间隔所述预定时间所述第二报警信息未发出时，获取所述检测区域周围其他区域的多个视野图像信息；

当在所述多个视野图像信息确定存在固体硅料时，根据所述第二剩余量判定所述固体硅料完全熔化。

6.根据权利要求3所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，所述步骤4具体包括：

当所述第一报警信息的发出时刻和所述第二报警信息的发出时刻相差在所述预定时间范围之外时，且在所述第二报警信息的发出时刻先于所述第一报警信息的发出时刻，发出检测热场有效性提示信息。

7.根据权利要求1所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，在步骤S3中，获取与所述实际投入量相对应的所述参考熔化速率包括：

获取参考投入量；

获取所述参考投入量的固体硅料完全熔化的参考熔化时间；

通过将所述参考投入量除以对应的所述参考熔化时间，确定参考熔化速率，作为与所述参考投入量相等的实际投入量相对应的参考熔化速率。

8.根据权利要求7所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，

所述参考投入量包括五种，分别为＜100kg，100～200kg，200～300kg，300～400kg，＞400kg。

9.根据权利要求1所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，在步骤S3中，获取所述固体硅料的实际投入量包括：

获取添加完所述固体硅料后加料筒的总重量；

获取卸完所述固体硅料后所述加料筒的重量；

通过所述总重量减去所述加料筒的重量得到所述固体硅料的所述投入量。

10.根据权利要求1-9任一项所述的固体硅料熔化的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：

根据固体硅料的熔化状态判定所述固体硅料是否达到预定熔化状态；

当所述固体硅料达到所述预定熔化状态时，对所述单晶炉内进行降温。