[发明专利]一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置在审

专利信息
申请号: 202310046447.1 申请日: 2023-01-31
公开(公告)号: CN115950231A 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 韩美洲;冯志东;胡大鹏;张浩 申请(专利权)人: 苏州港麟微电子有限公司
主分类号: F26B11/18 分类号: F26B11/18;F26B23/04;F26B3/347;F26B25/22;F26B25/02;F26B25/18;H01L31/18
代理公司: 北京冠和权律师事务所 11399 代理人: 郑延斌
地址: 215000 江苏省苏州市相城区元和*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 使用 微波 烘干 topcon 电池 硅片 装置
【权利要求书】:

1.一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:包括链式传送机构(4),链式传送机构(4)包括传送带(11),传送带(11)用于传送花篮,花篮上设有TOPCon电池硅片,传送带(11)的上侧对应设有微波烘干机构。

2.根据权利要求1所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:链式传送机构(4)还包括前后对称设置的固定板一(7),前侧的固定板一(7)左右两端对称设有链轮(8),左右两端的链轮(8)之间通过链条(9)连接,链轮(8)与固定轴(18)固定连接,固定轴(18)贯穿前侧的固定板一(7)并与后侧的固定板一(7)的转动连接,固定轴(18)与传送筒(10)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:左右两端的传送筒(10)之间通过传送带(11)连接,左端的固定轴(18)固定连接有驱动电机。

4.根据权利要求2所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:微波烘干机构包括固定板二(16),固定板二(16)与前侧的固定板一(7)固定连接,固定板二(16)与固定块(17)固定连接,固定块(17)中安装有磁控管(19)。

5.根据权利要求1所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:链式传送机构(4)安装在TOPCon清洗制绒槽式设备(3)和下料设备(5)之间,下料设备(5)通过空花篮回传设备(6)与插片设备(1)连接,插片设备(1)通过上料设备(2)与TOPCon清洗制绒槽式设备(3)连接。

6.根据权利要求4所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:固定块(17)中安装有高效烘干机构,高效烘干机构包括烘干腔(20),烘干腔(20)设置在固定块(17)的内部,烘干腔(20)的内部设有放置座(14),放置座(14)上设有花篮,烘干腔(20)的侧壁均匀布设有若干磁控管(19),固定块(17)的下侧左右两端贯穿设有滑孔(22),滑孔(22)中活动设有挡板(21),放置座(14)的底部为网状结构。

7.根据权利要求6所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:放置板(29)连接有自动化机构,自动化机构包括转动套(23),转动套(23)贯穿烘干腔(20)的前端与外界的控制电机(15)固定连接,转动套(23)远离控制电机(15)的一端内部设有凹槽(24),凹槽(24)中固定设有电磁块(30),电磁块(30)和磁块(32)对应设置,磁块(32)与连接轴一(33)固定连接,连接轴一(33)和凹槽(24)之间设有弹簧一(31),连接轴一(33)与齿轮一(25)固定连接,且连接轴一(33)与支撑套(34)滑动连接,支撑套(34)固定设置在烘干腔(20)的后端,凹槽(24)中偏心转动设有齿轮二(26),齿轮二(26)与齿轮一(25)啮合。

8.根据权利要求7所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,其特征在于:转动套(23)的外部与烘干腔(20)中的连接块一(28)、烘干腔(20)中的连接块二固定连接,连接块一(28)与放置板(29)转动连接,放置板(29)与放置座(14)固定连接,放置板(29)通过连接杆(27)与连接块三(36)转动连接,连接块三(36)通过连接轴二(37)与连接块二转动连接,连接轴二(37)与带轮一(38)固定连接,带轮一(38)通过连接带(35)与带轮二(39)连接,带轮二(39)与齿轮二(26)固定连接。

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