[发明专利]边缘检测镜头及系统

权利要求书

1.一种边缘检测镜头，其特征在于，包括：

复合透镜（3），包括：在第一口径范围内的边缘检测透镜（31）和在第二口径范围内的表面检测透镜（32）；其中，所述第一口径范围的上限值小于或等于所述第二口径范围的下限值，所述边缘检测透镜（31）的曲率半径与所述表面检测透镜（32）的曲率半径不同；

成像透镜组（4）；

以及反射镜（2），所述反射镜（2）设置在待测晶圆（1）上表面的上方和/或所述待测晶圆（1）下表面的下方，用于将待测晶圆表面的检测光线反射至所述表面检测透镜（32）后，经所述表面检测透镜（32）透射至所述成像透镜组（4）；待测晶圆边缘面的检测光线通过所述边缘检测透镜（31）透射至所述成像透镜组（4）。

2.根据权利要求1所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述边缘检测透镜（31）为弯月形负透镜，其第一面朝向所述待测晶圆（1），且所述边缘检测透镜（31）的第一面的曲率半径绝对值小于第二面的曲率半径绝对值；

所述表面检测透镜（32）为弯月形正透镜，其第一面朝向所述待测晶圆（1），且所述表面检测透镜（32）的第一面的曲率半径绝对值小于第二面的曲率半径绝对值。

3.根据权利要求1所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述第一口径范围的下限值为0mm，上限值介于10mm至15mm之间；

所述第二口径范围的下限值等于所述第一口径范围的上限值，上限值大于或等于50mm。

4.根据权利要求2所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述边缘检测透镜（31）的第一面的曲率半径介于-44mm至-36mm之间；

所述边缘检测透镜（31）的第二面的曲率半径介于-66mm至-54mm之间；

所述表面检测透镜（32）的第一面的曲率半径介于50.4mm至61.6mm之间；

所述表面检测透镜（32）的第二面的曲率半径介于50.4mm至61.6mm之间。

5.根据权利要求4所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述边缘检测透镜（31）的厚度介于35.34mm至43.20mm之间；

所述表面检测透镜（32）的厚度介于36mm至44mm之间。

6.根据权利要求4或5所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述边缘检测透镜（31）的折射率介于1.692至2.068之间，阿贝数介于37至45之间；

所述表面检测透镜（32）的折射率介于1.692至2.068之间，阿贝数介于37至45之间。

7.根据权利要求4或5所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述复合透镜（3）与所述待测晶圆（1）之间的距离介于36mm至44mm之间。

8.根据权利要求1所述的边缘检测镜头，其特征在于，

所述成像透镜组（4）包括：

第一透镜（41），为弯月形负透镜；所述第一透镜的第一面朝向所述边缘检测透镜的第二面，且所述第一透镜的第一面的曲率半径绝对值小于第二面的曲率半径绝对值；

第二透镜（42），为双凹透镜；

第三透镜（43），为双凸透镜；所述第三透镜与所述第二透镜胶合；

第四透镜（44），为双凸透镜；

第五透镜（45），为双凹透镜；所述第五透镜与所述第四透镜胶合；

第六透镜（46），为弯月形正透镜；所述第六透镜的第一面朝向所述第五透镜，且所述第六透镜的第一面的曲率半径绝对值小于第二面的曲率半径绝对值；

第七透镜（47），为双凹透镜；

第八透镜（48），为双凸透镜；所述第八透镜与所述第七透镜胶合；

第九透镜（49），为双凸透镜。