[发明专利]一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统

权利要求书

1.一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：包括供气装置、制备装置、收集装置、冷却装置；

所述供气装置，包括气源、缓冲罐、储气罐、稳压罐，所述气源、所述缓冲罐、所述稳压罐依次连接，所述稳压罐连接所述制备装置以提供压力稳定的工作气体，所述缓冲罐还连接所述储气罐，以储存多余工作气体，所述气源还分别连接所述储气罐和制备装置；

所述制备装置，包括依次连接的料仓、送料器、射频等离子炬、主机仓、旋风分离器、集粉仓和增压机，所述料仓、送料器、射频等离子炬分别与所述稳压罐连接，所述主机仓和所述集粉仓分别与所述缓冲罐连接，所述缓冲罐用于对所述主机仓和所述集粉仓进行吹扫或反吹扫，所述增压机连接所述缓冲罐，用于回收工作气体循环使用；

所述收集装置，包括第一收粉装置、第二收粉装置和第三收粉装置，所述第一收粉装置与所述主机仓连接，所述第二收粉装置与所述旋风分离器连接，所述第三收粉装置与所述集粉仓连接；

所述冷却装置，包括水冷机和风机，所述水冷机与所述送料器、所述射频等离子炬、所述主机仓、所述旋风分离器、所述集粉仓分别连接，所述风机连接所述射频等离子炬。

2.如权利要求1所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：所述缓冲罐与稳压罐之间连接有干燥器，所述集粉仓与增压机之间连接有过滤器，过滤器也与缓冲罐连接，所述料仓与送料器之间设置给料装置。

3.如权利要求2所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：还包括真空泵，所述真空泵分别通过开关阀与所述第一收粉装置、所述第二收粉装置和所述第三收粉装置连接，所述真空泵还通过开关阀连接所述料仓、所述送料器、所述集粉仓、所述稳压罐、所述缓冲罐，水冷机与真空泵通过冷却开关阀连通。

4.如权利要求3所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：所述射频等离子炬与主机仓之间设置高温闸板阀，所述送料器与射频等离子炬之间设置开关阀，所述旋风分离器与集粉仓、所述集粉仓与过滤器、所述过滤器与增压机、所述增压机与缓冲罐之间均设置开关阀，气源与缓冲罐、缓冲罐与干燥器、稳压罐与送料器之间分别设置有调节阀，所述稳压罐与料仓之间设置开关阀，稳压罐与送料器、稳压罐与射频等离子炬之间分别设置调节阀，缓冲罐与主机仓、缓冲罐与集粉仓之间分别设置开关阀。

5.如权利要求4所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：所述水冷机出口处设置开关阀，所述水冷机分别通过冷却开关阀与所述送料器、所述射频等离子炬、所述主机仓、所述旋风分离器、所述集粉仓、所述过滤器连接，所述缓冲罐通过开关阀与储气罐连接，所述储气罐分别通过开关阀与第一收粉装置、第二收粉装置、第三收粉装置连接。

6.如权利要求5所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：所述稳压罐与射频等离子炬之间设置有三条供气的管路，三条供气的管路分别为中心气管路、边气管路和冷却气管路，所述中心气管路、边气管路和冷却气管路分别设置有调节阀。

7.如权利要求6所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：还包括气体成份检测传感器、压力传感器和温度传感器，所述气体成份检测传感器与射频等离子炬连接，压力传感器设置有多个，分别设置在料仓、送料器、射频等离子炬、主机仓、旋风分离器、集粉仓、稳压罐、缓冲罐和储气罐上，温度传感器设置有多个，分别设置在送料器、射频等离子炬、主机仓、旋风分离器、集粉仓、过滤器上。

8.如权利要求7所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：还包括流量检测装置和湿度检测装置，所述流量检测装置设置多个，分别连接在所述料仓、送料器、射频等离子炬、主机仓上，所述湿度检测装置与所述主机仓连接。

9.如权利要求8所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：还包括监控装置，所述监控装置包括多个摄像头和显示器，多个摄像头与所述显示器连接，多个摄像头分别设置在料仓、送料器、射频等离子炬、主机仓处。

10.如权利要求9所述的一种微米球化粉体或纳米粉体制备控制系统，其特征是：还包括控制器，所述控制器分别与供气装置、制备装置、收集装置、冷却装置、监控装置、流量检测装置和湿度检测装置、气体成份检测传感器、压力传感器和温度传感器各部件连接，控制各部件运行，同时与各部件之间的阀体和/或开关连接，以控制各阀体和/或的启闭。