[发明专利]干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺

说明书

本发明公开了一种干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺，其工艺步骤为：S1、取出基板，在基板上涂覆一层非光敏底层胶达到设定的目标厚度；S2、在非光敏底层胶上层再涂覆一层光刻胶，光刻胶的厚度大于非光敏底层胶；S3、两层胶涂覆完毕后采用曝光显影坚膜的方式把上层的光刻胶做成具有正梯形或者倒梯形槽口的胶形，并裸露出需要去除的非光敏底层胶；S4、采用干法刻蚀的工艺对上层的光刻胶胶和裸露出来的非光敏底层胶一起进行干刻；S5、干刻后，通过去胶液将非光敏底层胶上层残留的光刻胶去除，最终得到正梯形或者倒梯形胶形的产品，完成干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺。本发明实现了胶形为正梯形或者倒梯形且斜面角度小于等于45°的图形化加工。

技术领域

本发明涉及半导体干法刻蚀工艺领域，尤其涉及一种干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺。

背景技术

目前半导体行业在快速发展，市场对于半导体器件的需求也越来越大，半导体的形式也越来越多样化。其中一部分部件就涉及到在硅基板上涂覆非光敏胶的半导体器件。其要求在半导体器件上涂覆非光敏胶的胶形为正梯形且斜面角度要求为45°，而一般的黄光工艺无法加工非光敏胶的胶形，而单独使用干法刻蚀的工艺虽然能够进行图形化加工但是干刻后的胶形一般为长方形或者斜面角度接近90°。为了解决该问题本申请发明了一种干法刻蚀结合黄光工艺的方法在进行非光敏胶图形化加工的同时还能使胶的胶形为正梯形。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明设计了一种干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺，使最终形成的胶形为正梯形或者倒梯形且斜面角度实现小于等于45°。

本发明采用如下技术方案：

一种干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺，其工艺步骤为：

S1、取出基板，在基板上涂覆一层非光敏底层胶达到设定的目标厚度；

S2、在非光敏底层胶上层再涂覆一层光刻胶，光刻胶的厚度大于非光敏底层胶；

S3、两层胶涂覆完毕后采用曝光显影坚膜的方式把上层的光刻胶做成具有正梯形或者倒梯形槽口的胶形，并裸露出需要去除的非光敏底层胶；

S4、采用干法刻蚀的工艺对上层的光刻胶胶和裸露出来的非光敏底层胶一起进行干刻；

S5、干刻后，通过去胶液将非光敏底层胶上层残留的光刻胶去除，最终得到正梯形或者倒梯形胶形的产品，完成干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺。

作为优选，步骤S4中，调整干法刻蚀的参数，使上层干刻胶的干刻速率与非光敏底层胶的干刻速率一致。

作为优选，所述正梯形或者倒梯形槽口的斜面角度小于等于45°。

作为优选，所述非光敏底层胶通过旋涂的方式均匀涂覆在基板上。

作为优选，所述光刻胶通过旋涂的方式均匀涂覆在非光敏底层胶上。

本发明的有益效果是：本发明结合了干法刻蚀及涂胶曝光显影工艺，使得胶形加工更加多样化，拓展了干刻机的使用领域，实现了胶形为正梯形或者倒梯形且斜面角度小于等于45°的图形化加工。

附图说明

图1是本发明中基板的一种结构示意图；

图2是本发明基板上涂上一层非光敏底层胶的一种结构示意图；

图3是图2上的非光敏底层胶涂上一层光刻胶并曝光显影坚膜后的一种结构示意图；

图4是图3中对上层光刻胶和裸露出来的非光敏底层胶一起干法蚀刻后的一种结构示意图；

图5是图4中干法蚀刻后将上层光刻胶去除的一种结构示意图；

图中：1、基板，2、非光敏底层胶，3、光刻胶。

实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的具体描述：

实施例：一种干法刻蚀制作正梯形胶形的工艺，其工艺步骤为：