[发明专利]一种椭偏测量校正方法及装置

权利要求书

1.一种椭偏测量校正方法，其特征在于，

在椭偏测量中，当光学元件的出射光具有部分偏振和/或窄椭偏特征时，对拟合得到的傅里叶系数α_f和β_f进行校正，获得校正后的α_m和β_m。

2.根据权利要求1所述的椭偏测量校正方法，其特征在于，所述光学元件包括起偏器或检偏器。

3.根据权利要求2所述的椭偏测量校正方法，其特征在于，

当起偏器的出射光为部分偏振光，校正后的α_m和β_m为，

其中，

p为起偏器Mueller矩阵中偏振度参数，

P’为起偏器测量角度，

或者，

如果已知测量的α_m和β_m，则拟合的α_f和β_f可由下式计算：

其中，

a＝4cos(P')⁴p-4cos(P')²p+p-1

b＝2(p-1)cos(P')²-p+1

c＝b

d＝4p·cos(P')⁴+4p·cos(P')²+p-1    (7)。

4.根据权利要求2所述的椭偏测量校正方法，其特征在于，当起偏器的出射光具有窄椭偏特征，校正后的α_m和β_m为，

其中，

c＝cosΔ                           (14)

d＝-a²b²α²-α²b⁴+a²b²+b⁴-b²c²    (15)

γ_P为椭偏参数，

p为起偏器Mueller矩阵中偏振度参数，

P’为起偏器测量角度，

或者，

如果已知测量的α_m和β_m，则拟合的α_f和β_f可由下式计算：

其中，

5.根据权利要求2所述的椭偏测量校正方法，其特征在于，当检偏器的出射光为部分偏振光，校正后的α_m和β_m为，

α_m＝pα_f      (23)

β_m＝pβ_f      (24)

其中，p为检偏器Mueller矩阵中偏振度参数，

或者，

如果已知测量的α_m和β_m，则拟合的α_f和β_f可由下式计算校正：

6.根据权利要求2所述的椭偏测量校正方法，其特征在于，

当检偏器的出射光具有窄椭偏特征，校正后的α_m和β_m为，

其中，

或者，

如果已知测量α_m和β_m，则拟合α_f和β_f可由下式计算校正：