[发明专利]一种介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法

权利要求书

1.一种介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

蚀刻步骤：将待蚀刻的单晶样品抛光打磨至光滑平整面，打磨后的单晶样品通过碳胶黏贴在FIB双束系统的载物台上，按照沉积保护层、上下挖槽、粗削、切U型槽、精修、削非晶的顺序，得到目标样品薄片S；

取样步骤：取下FIB双束系统的载物台上的单晶样品，将该样品通过碳胶黏贴于三轴取样载物台上，并在单晶样品表面覆盖一层PDMS凝胶，之后下探针，挤压薄片样品S使其侧边的连接处自然断裂，且自然吸附在PDMS凝胶上；

转移步骤：当单晶样品表面被捕获到样品薄片后，揭下PDMS凝胶，粘贴至载玻片上，并将载玻片连同金属夹片固定到转移台上方夹片安放处，在薄片转移装置上将薄片样品S转移至电极衬底上，且静置后取走金属夹片；

沉积步骤：将准备好的电极衬底放入FIB真空腔室内，利用聚焦离子束在薄片样品与电极接触的地方沉积设定金属，然后利用FIB将薄片样品刻蚀成所需的图案进行测试。

2.根据权利要求1所述的介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法，其特征在于，在蚀刻步骤中，样品薄片S以竖立姿态位于单晶样品的挖槽中，且样品薄片S仅通过侧边的连接处与单晶样品连接，其他位置断开。

3.根据权利要求1所述的介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法，其特征在于，在取样步骤中，通过调节三轴载物台的方向，使显微镜聚焦到薄片样品的表面，探针针尖直径选择在1-2微米尺度，通过探针载物台的三轴调节探针针尖位置，使针尖对准薄片样品S上下方任一凹槽中央处，通过调整探针的高度，使探针下压，挤压薄片样品S使其侧边的连接处自然断裂，且该薄片样品S自然吸附在PDMS凝胶上。

4.根据权利要求1所述的介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法，其特征在于，在转移步骤中，先通过显微物镜在PDMS凝胶上找到薄片样品S，标定好该样品在凝胶上的长轴方向，再将显微镜聚焦面聚焦到下方载物台上的衬底上，按照之前标定好的样品长轴方向找准与电极衬底中的电极位置，随后落下金属夹具，使薄片样品S与电极衬底接触，静置预定时间后，提起金属夹具。

5.根据权利要求1所述的介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法，其特征在于，在沉积步骤中，记录下最终样品的长、宽、厚度的参数，以便后续的数据处理。