[发明专利]一种超精密高速静压空气轴承结构在审
申请号: | 202310061498.1 | 申请日: | 2023-01-17 |
公开(公告)号: | CN116292624A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 李记东;朱思伟 | 申请(专利权)人: | 精效悬浮(苏州)科技有限公司 |
主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06;B23B19/02 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 王熙文 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精密 高速 静压 空气 轴承 结构 | ||
1.一种超精密高速静压空气轴承结构,包括定子(10)、活动配合在定子中的轴(20)、安装在轴上的止推盘(30),止推盘与定子轴向相邻,其特征在于:定子上设有进气孔(11)、与进气孔连通的径向节流孔(12)和轴向节流孔(13),径向节流孔连通轴与定子之间的气浮面(21),轴向节流孔连通止推盘与定子之间的止推面(31)。
2.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:定子(10)内设有与径向节流孔(12)、轴向节流孔(13)及进气孔(11)连通的气室(14)。
3.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:进入进气孔(11)的气体为任一可压缩气体。
4.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:径向节流孔(12)、轴向节流孔(13)内配合有节流塞。
5.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:气浮面(21)为平面、锥面或曲面。
6.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:止推面(31)为平面、锥面或曲面。
7.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:定子(10)的轴向两侧设有止推盘(30)。
8.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:止推盘(30)与轴(20)组装成一体结构成为转子。
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