[发明专利]一种超精密高速静压空气轴承结构在审

专利信息
申请号: 202310061498.1 申请日: 2023-01-17
公开(公告)号: CN116292624A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 李记东;朱思伟 申请(专利权)人: 精效悬浮(苏州)科技有限公司
主分类号: F16C32/06 分类号: F16C32/06;B23B19/02
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 王熙文
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 精密 高速 静压 空气 轴承 结构
【权利要求书】:

1.一种超精密高速静压空气轴承结构,包括定子(10)、活动配合在定子中的轴(20)、安装在轴上的止推盘(30),止推盘与定子轴向相邻,其特征在于:定子上设有进气孔(11)、与进气孔连通的径向节流孔(12)和轴向节流孔(13),径向节流孔连通轴与定子之间的气浮面(21),轴向节流孔连通止推盘与定子之间的止推面(31)。

2.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:定子(10)内设有与径向节流孔(12)、轴向节流孔(13)及进气孔(11)连通的气室(14)。

3.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:进入进气孔(11)的气体为任一可压缩气体。

4.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:径向节流孔(12)、轴向节流孔(13)内配合有节流塞。

5.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:气浮面(21)为平面、锥面或曲面。

6.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:止推面(31)为平面、锥面或曲面。

7.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:定子(10)的轴向两侧设有止推盘(30)。

8.如权利要求1所述的一种超精密高速静压空气轴承结构,其特征在于:止推盘(30)与轴(20)组装成一体结构成为转子。

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