[发明专利]一种小型可切换式电子-离子枪

权利要求书

1.一种小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，包括：

刀口密封的标准CF法兰；

设置在CF法兰非刀口侧且位于中心部位的真空引线组件；

设置在CF法兰另一侧的支撑件；

设置在支撑件上的电子-离子源的组件。

2.根据权利要求1所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述真空引线组件中设置有多个耐高压的真空引线端子。

3.根据权利要求1所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述电子-离子源的组件包括：具有中空结构的绝缘套磁组件；以及依次设置在绝缘套磁组件且远离支撑件方向上的导磁性电极、阳极筒电极、栅网电极和聚焦筒电极。

4.根据权利要求3所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述导磁性电极设置有以轴对称方式安装有磁环和场发射磁性针；优选地，所述导磁性电极上还设计有导气孔，便于气体传导。

5.根据权利要求1所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述小型可切换式电子-离子枪还包括固定在支撑件上且用于屏蔽电子-离子源的组件屏蔽外桶；

优选地，所述屏蔽外筒的上端盖中央设计有节流引出筒；更优选地，所述节流引出筒通过屏蔽外筒与壳体地相连。

6.根据权利要求1所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述刀口密封的标准CF法兰的一侧面设计有进气管道；

优选地，所述进气管道外接阀门或气体流量计，以控制工作气体进入电子-离子源组件所在的放电腔室。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述刀口密封的标准CF法兰的另一侧面设置有螺钉孔，用于将型可切换式电子-离子枪连接到真空系统中。

8.根据权利要求3所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述导磁性电极接负高压作为阴极；优选地，所述负高压-HV的范围为-300V～-3000V，更优选为-1000～-2500V。

9.根据权利要求3所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述阳极筒电极具有空心圆筒结构。

10.根据权利要求3所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述阳极筒电极通过R2电阻接地，同时通过开关K接正高压；

优选地，所述R2电阻的大小为5M～10M；，所述正高压+HV的范围为+300V～+3000V，更优选为+1000～+3000V；

优选地，所述开关K为手动开关或自动控制的继电器开关。

11.根据权利要求3所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述栅网电极通过R1电阻接地；所述R1电阻为采样电阻，大小为10K～1M，且通过R1电阻两端的电压可以检测电子流或离子流的相对大小。

12.根据权利要求3所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，所述聚焦筒电极悬空设置，对电子流和离子流起到自聚焦和自准直的作用。

13.根据权利要求3或10所述的小型可切换式电子-离子枪，其特征在于，控制阳极筒电极上的电位以实现引出束流的切换；

优选地，当阳极筒电极接通正高压+HV时引出正离子束流；当阳极筒电极通过电阻接地时，引出电子束流；

更优选地，当正高压+HV的数值在+1000～+3000V范围，电子束流范围-1μA～-200μA，离子束流范围+1μA～+600μA。