[发明专利]一种实现原位微观电场多功能的探针测试辅助装置

权利要求书

1.一种探针测试辅助装置，包括上部六角盒状主体和U型探针挡板；

所述六角盒状主体为六棱柱状的腔体；所述腔体的每个侧壁的中上部均开设U型窗口；所述U型探针挡板插入所述U型窗口中并在所述U型窗口内沿水平方向移动；在每个所述U型探针挡板的垂直中心线处均设有一对相贴的密封片，每对所述密封片的相贴处所形成的缝隙作为外部设备探针的出入口；

所述腔体的顶盖为凹面六角环形结构，在所述顶盖的中心处设有带中心孔的物镜密封滑动件，物镜通过所述中心孔在所述物镜密封滑动件中垂直移动；在所述物镜密封滑动件的上表面还设有密封垫圈；

物镜与所述物镜密封滑动件、所述密封垫圈、所述U型探针挡板、所述密封片与所述六角盒状主体形成密封腔；

所述腔体的下方设有主体基座；

所述主体基座的侧壁外设有X轴千分尺和Y轴千分尺，所述X轴千分尺和Y轴千分尺分别延伸至所述主体基座的内部；

所述主体基座内设有样品台基座。

2.根据权利要求1所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述六角盒状主体的边长为60-100mm，高度为40-70mm；

所述U型窗口的长度为40-70mm，高度为20-40mm；

所述出入口的高度为20-30mm；

所述主体基座的长度为150-300mm，高度为40-70mm。

3.根据权利要求1或2所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述U型窗口的边缘处设有凹槽，所述U型探针挡板通过所述凹槽插入所述U型窗口中并实现水平方向上的移动；

所述凹槽的长度为10-20mm，深度为3-6mm。

4.根据权利要求1-3任一所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述U型探针挡板的材质为金属铝；

所述密封片的材质为橡胶。

5.根据权利要求1-4任一所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述物镜密封滑动件为带有中心孔的倒置圆锥台结构；

所述物镜密封滑动件的上表面的外径50-65mm，内径为25-30mm，高度10-20mm。

6.根据权利要求1-5任一所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述主体基座的内部设有X轴千分尺固定板、X轴千分尺滑动配件和燕尾槽基体X；

所述X轴千分尺固定板用于固定所述X轴千分尺；所述X轴千分尺依次通过所述X轴千分尺固定板、所述燕尾槽基体及所述X轴千分尺滑动配件使所述样品在X方向上移动，移动范围≥5mm；

所述主体基座的内部设有Y轴千分尺固定板、Y轴千分尺滑动配件和燕尾槽基体Y；所述Y轴千分尺固定板用于固定所述Y轴千分尺；

所述Y轴千分尺依次通过所述Y轴千分尺固定板、所述燕尾槽基体及所述Y轴千分尺滑动配件使所述样品在Y方向上移动；移动范围≥5mm。

7.根据权利要求1-6任一所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述主体基座内设有电学连接组件；所述电学连接组件包括电学连接座、密封电学接头及导线；

所述电学连接座设置于所述主体基座内的底部；

所述密封电学接头设置于所述主体基座内的侧壁下部；

所述导线用于样品与所述电学连接座、所述密封电学接头及外部高精度电源的连接。

8.根据权利要求1-7任一所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述主体基座的侧壁上设有与外部供气设备连接的气体输入组件；所述气体输入组件包括氛围气体孔和1分4气体导管；

所述1分4气体导管的4个出气口通过导气管固定基座固定在所述样品台基座附近。

9.根据权利要求1-8任一所述的探针测试辅助装置，其特征在于：所述样品台基座配置高温元件。

10.权利要求1-9任一所述探针测试辅助装置在与显微镜联用的原位微观电场分析中的应用。