[发明专利]一种气浮轴轴向误差补偿机构

权利要求书

1.一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：包括轴承座(1)、主轴转子(8)及驱动装置(6)；所述主轴转子(8)同轴设置在轴承座(1)的内腔内，主轴转子(8)和轴承座(1)之间设置驱动装置(6)，所述驱动装置(6)能够驱动主轴转子(8)轴向移动。

2.根据权利要求1所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述气浮轴轴向误差补偿机构还包括平衡质量(5)；所述平衡质量(5)同轴间隙设置在驱动装置(6)和轴承座(1)之间，所述驱动装置(6)包括永磁体A(61)及线圈A(62)；所述永磁体A(61)固定在主轴转子(8)上，所述线圈A(62)固定在平衡质量(5)上，驱动装置(6)通过电磁力控制主轴转子(8)轴向运动。

3.根据权利要求2所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述轴承座(1)内腔两端凸起处与主轴转子(8)配合形成主轴的径向轴承，轴承座(1)内腔中间凸起与平衡质量(5)配合形成平衡质量(5)的径向轴承。

4.根据权利要求2所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述平衡质量(5)和轴承座(1)之间安装有连接装置(7)；所述连接装置(7)包括永磁体B(71)及线圈B(72)；所述永磁体B(71)固定在平衡质量(5)上，线圈B(72)固定在轴承座(1)上，连接装置(7)产生的电磁力作用在平衡质量(5)上，能够减小平衡质量(5)作用在轴承座(1)的反作用力。

5.根据权利要求2所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述主轴转子(8)两端分别设有轴向速度传感器(2)和轴向位移传感器(9)，用于检测主轴转子(8)的轴向速度和位移。

6.根据权利要求5所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述主轴转子(8)中部设有转速传感器(3)，用于检测主轴转子(8)的转速。

7.根据权利要求5所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述平衡质量(5)在靠近轴向速度传感器(2)的一端设有平衡质量位置传感器(4)。

8.根据权利要求2所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述驱动装置(6)的线圈A(62)所绕成的轴向长度大于闭合磁路气隙的轴向长度，通过控制通过线圈A(62)的电流的大小即可控制作用在主轴转子(8)的电磁力。

9.根据权利要求2所述的一种气浮轴轴向误差补偿机构，其特征在于：所述平衡质量(5)通过销(10)连接到轴承座(1)上限制其转动而不限制其轴向运动。