[发明专利]一种晶圆级阳极氧化系统及方法

权利要求书

1.一种晶圆级阳极氧化系统，其特征在于，包括：

控制模块、数字源表、阳极、阴极和电解槽，所述阳极为位于晶圆上的金属；

所述控制模块与所述数字源表的第一端相连，用于控制所述数字源表输出电流；

所述数字源表的第二端和第三端分别连接所述阳极和所述阴极，用于向所述阳极和所述阴极输入电流，以及测量所述阳极和所述阴极之间的电压；

所述电解槽中盛有电解液，所述阳极和所述阴极位于所述电解液中。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

第一背板，所述第一背板具有用于盛放阳极的第一凹槽，在所述阳极位于所述第一凹槽中时，所述阳极的金属与所述电解液接触。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括盖板，所述阳极位于所述第一背板和所述盖板之间，所述盖板具有镂空部分，所述镂空部分用于暴露所述阳极的金属。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述盖板具有用于盛放电极的第二凹槽，所述第二凹槽位于所述盖板的镂空部分的上方，且与所述盖板的镂空部分连通，所述电极连接在所述数字源表的第二端和所述阳极之间。

5.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电解槽具有第一开孔，所述第一背板具有第二开孔，通过螺丝将所述第一开孔和所述第二开孔对齐固定，以将所述第一背板固定在所述电解槽上。

6.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电解槽的内侧壁上具有多个长条状凹槽，所述多个长条状凹槽用于将所述第一背板固定在所述电解槽上。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

第二背板，所述第二背板具有用于盛放阴极的第三凹槽。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的系统，其特征在于，所述阳极的金属为Al、Nb、Ti中的至少一种；所述阴极的材料包括以下至少一种：Ti金属板、Pt金属板、镀Pt的Ti金属板。

9.根据权利要求1-7任意一项所述的系统，其特征在于，所述电解液为中性电解液，所述电解液的化学成分包括：五硼酸铵、乙二醇和去离子水。

10.一种晶圆级阳极氧化方法，其特征在于，应用于晶圆级阳极氧化系统，包括：

根据输入的电流值和输入的阳极金属的面积计算出数字源表输出的电流密度，以便核对所述数字源表向阳极和阴极输入的电流，对阳极的金属氧化；所述阳极和所述阴极位于电解槽中的电解液中；

获取所述数字源表测量得到的所述阳极和所述阴极之间的电压，在电压达到预设值时，控制所述数字源表停止向所述阳极和所述阴极输入电流，终止氧化。