[发明专利]分束器组件、用于确定分束器组件的尺寸的方法和显微镜

权利要求书

1.用于布置在显微镜的光路(10)的非准直部分中的分束器组件，所述分束器组件具有：

第一板(20)，所述第一板朝着光轴(18)倾斜了倾斜角(α)，和

第二板(30)，所述第二板朝着所述光轴(18)倾斜了倾斜角(γ)，

其中，所述第一板(20)和/或所述第二板(30)用于辐射的耦入和/或耦出，

其特征在于，

所述第一板(20)的楔角(β)、所述第二板(30)的楔角(δ)和所述第二板(30)的倾斜角(γ)彼此相协调，使得校正了所述光轴(18)上的像散和所述像散在物场中的线性的场依赖性。

2.根据权利要求1所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)的楔角(β)、所述第二板(30)的楔角(δ)和所述第二板(30)的倾斜角(γ)彼此相协调，使得也校正了所述光轴(18)上的横向色差。

3.根据权利要求1或2所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第二板(30)在所述光轴(18)上的定位被选择成使得物场上彗差和/或横向色差最小。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)和/或所述第二板(30)在体积上由具有唯一的折射系数的均质材料组成或者分别由具有唯一的折射系数的均质材料组成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)和/或所述第二板(30)是中性分束器，或者分别是中性分束器。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)和/或所述第二板(30)是50:50中性分束器，或者分别是50:50中性分束器。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)和/或所述第二板(30)是色度分束器，或者分别是色度分束器。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)和/或所述第二板(30)是偏振分束器，或者分别是偏振分束器。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)和/或所述第二板(30)是色度校正的双楔件，或者分别是色度校正的双楔件。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)相对于光轴(18)倾斜了范围在30°到70°之间的角度、优选范围在40°到50°之间的角度，尤其是倾斜了45°的角度。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第一板(20)的楔角(β)在0弧分到30弧分的范围内，优选在3弧分到10弧分的范围内。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第二板(30)相对于光轴(18)在与所述第一板(20)相反的方向上倾斜。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的分束器组件，

其特征在于，

所述第二板(30)相对于光轴(18)倾斜了范围在20°到60°之间的角度、优选范围在30°到40°之间的角度。