[发明专利]混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法及系统

权利要求书

1.混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，单工序工艺结构数据包构建：构建以设备机械坐标系为参考的单工序工艺结构数据包；

S2，统一坐标系原点确定：确定多工序统一坐标系原点；

S3，统一坐标系工艺结构数据包建立：统一各工序坐标系方向，建立基于统一坐标系的工艺结构数据包；

S4，耦合关系建立：建立多工序工艺结构数据包耦合关系；

S5，多工序MAP图构建：基于多工序耦合关联工艺结构数据包，构建多工序工艺结构工艺参数MAP图。

2.根据权利要求1所述的混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法，其特征在于，步骤S1中，单工序工艺结构数据包包括：单工序工艺结构坐标的单工序数据包、对应工艺加工参数的单工序数据包；单工序工艺结构数据包的具体构建方法为：以设备机械坐标系中各工艺结构坐标数据获取为目标，对各工序设备在加工产品上加工坐标进行识别流程分析，确定各工艺结构相对机械坐标系原点的位置坐标的数据获取方式，同时确定加工坐标位置工艺结构关联的该设备关键工艺参数，并完成坐标和工艺参数之间的关联绑定。

3.根据权利要求2所述的混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法，其特征在于，步骤S2中，选定坐标锚定物料，以坐标锚定物料的几何中心P_max作为多工序统一坐标系原点；其中，坐标锚定物料指贯穿产品整个生产流程的物料。

4.根据权利要求3所述的混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法，其特征在于，选定坐标锚定物料的第一顺位条件为：该类型物料在此产品中的个数为最少；第二顺位条件为：该类型物料在混合集成电路中分布位置的离散度最大；优先选定第一顺位条件的物料作为坐标锚定物料，若满足第一顺位条件的物料类型有多个，则选定第二顺位条件对满足第一顺位的多类物料进行计算判定。

5.根据权利要求4所述的混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法，其特征在于，选定坐标锚定物料时，离散度的计算方式为：

将同类物料看成一个整体，其各物料距离物料整体几何中心距离之和作为该类物料离散度，按照离散度高低确定优选顺序；

计算公式如下：

其中，D_km表示物料类型为m的k工序的第i个物料的离散度，i表示物料编号，m表示物料类型，k表示工序编号，n表示物料数量，表示物料类型为m的k工序的第i个物料的机械坐标系的x轴坐标，表示物料类型为m的k工序的第i个物料的机械坐标系的y轴坐标，x₀表示坐标锚定物料的几何中心的机械坐标系的x轴坐标，y₀表示坐标锚定物料的几何中心的机械坐标系的y轴坐标；

离散度最高的物料的几何中心P_kmax的计算公式如下：

其中，x_kmax表示离散度最高的物料的几何中心的机械坐标系的x轴坐标，y_kmax表示离散度最高的物料的几何中心的机械坐标系的y轴坐标。

6.根据权利要求5所述的混合集成电路的多工序制造过程数据耦合关联方法，其特征在于，步骤S3中，选定统一的坐标系方向，将各工序的工艺结构坐标进行转换，最终得到统一坐标系方向的各工序工艺结构坐标点；其中，对于与选定坐标系维度相反的维度坐标，取此维度坐标相反数作为转换后的统一坐标系方向坐标，而后转换为基于P_kmax为坐标系原点的工艺结构坐标点。