[发明专利]一种双自由度大型精密仪器防微振平台

权利要求书

1.一种双自由度大型精密仪器防微振平台，包括顶板、竖向驱动装置、水平向驱动装置和支撑腿，其特征在于，所述顶板底部四个角分别连接竖向驱动装置，所述竖向驱动装置底部安装在支撑腿顶部，所述顶板底部中间垂直安装有立柱，所述立柱左、右、前、后、侧分别安装有水平向驱动装置，所述支撑腿之间安装有横梁，所述水平向驱动装置底部与横梁垂直连接，所述竖向驱动装置包括支撑板、支撑柱、磁浮装置和底座，所述支撑板底部中间垂直连接有球形铰链，所述球形铰链底部与支撑柱顶部连接，所述支撑柱下部前、后、左、右侧呈十字型垂直连接有连杆，所述支撑柱底部连接橡胶垫块，所述连杆顶端分别与磁浮装置连接，所述磁浮装置包括外壳，所述外壳内部中间垂直安装有竖杆，所述竖杆上端、下端分别套装有上线圈和下线圈，所述竖杆中间滑动连接有磁环，所述外壳靠近连杆一侧竖向开设有开孔，所述连杆顶端穿过开孔与磁环连接，所述磁浮装置分别安装在弹性体上，所述磁浮装置与弹性体之间还连接有垫板，所述垫板之间连接有呈十字型的支撑杆，所述橡胶垫板安装在支撑杆中间顶部，所述弹性体底部安装在底座上，所述水平向驱动装置包括筒体，所述筒体顶部滑动连接有导杆，所述筒体内侧上部垂直安装有横板，所述导杆垂直穿过筒体顶部插入筒体穿过横板，所述筒体顶部内侧与横板之间、导杆外侧套装有金属弹簧，所述导杆底部垂直连接有永磁体所述筒体底部内侧与永磁体同一垂线上安装有电磁铁，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述横梁上安装有控制器。

2.根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述弹性体抗压强度为60~70MP，所述弹性体为聚氨酯弹性体，所述聚氨酯弹性体由以下质量分数的原料制成：多异氰酸酯8~10%、聚酯多元醇8~10%、陶粒40~45%、水泥8~10%、聚氨酯纤维2~4%、聚氨酯颗粒25~30%，所述聚氨酯弹性体有以下步骤制备而成：

（1）将陶粒40~45%、水泥8~10%、聚氨酯纤维2~4%、聚氨酯颗粒25~30%混合均匀，得到混合干料，然后向混合干料内加水搅拌均匀，得到预备料，水灰比为0.4~0.6；

（2）将多异氰酸酯8~10%和聚酯多元醇8~10%混合搅拌15~20s，然后将步骤（1）预备料加入搅拌1.5~2min，然后倒入模具成型，自然养护7天，得到聚氨酯弹性体。

3.根据权利要求2所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述陶粒为高强陶粒，抗压强度为50MP，陶粒粒径1~3mm，所述水泥为硅酸盐水泥标号62.5。

4.根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述金属弹簧与横板之间还安装有垫块。

5.根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述永磁体与电磁铁之间留有0.8~1.2cm的间隙，便于导杆上下驱动。

6.根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述导杆与筒体顶部之间还安装有内衬板。

7.根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、上线圈、下线圈、电磁铁连接。

8.根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于，所述支撑腿由不锈钢板制成矩形框体，所述矩形框体内布设有横向和纵向钢筋，根据权利要求1所述的一种双自由度大型精密仪器防微振平台，其特征在于所述支撑腿和横梁内浇筑有标号600混凝土。