[发明专利]基于双微环谐振器的测量方法以及双微环谐振器

权利要求书

1.一种基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，包括：

获取左微环波导的谐振波长偏移量；

获取右微环波导的谐振波长偏移量；

根据所述左微环波导的谐振波长偏移量和所述右微环波导的谐振波长偏移量，计算得到折射率变化量以及温度变化量。

2.根据权利要求1所述的基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，所述根据所述左微环波导的谐振波长偏移量和所述右微环波导的谐振波长偏移量，计算得到所述折射率变化量以及温度变化量，包括：

根据所述左微环波导的谐振波长偏移量、所述右微环波导的谐振波长偏移量以及式(1)，计算得到折射率变化量以及温度变化量：

式(1)中，Δn为所述折射率变化量，ΔT为所述温度变化量，为所述双微环谐振器的特征矩阵的逆矩阵，Δλ_L为所述左微环波导的谐振波长偏移量，Δλ_R为所述右微环波导的谐振波长偏移量。

3.根据权利要求1所述的基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，式(1)中的特征矩阵的逆矩阵由所述双微环谐振器经过预设实验计算得到。

4.根据权利要求3所述的基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，所述预设实验包括：

将所述双微环谐振器设置为同一温度；

根据预设折射率集合，将所述覆盖层的折射率从第一预设折射率分别调整至不同的第二预设折射率；其中，所述预设折射率集合中包含多个所述第二预设折射率；

获取左微环波导的谐振波长偏移量和右微环波导的谐振波长偏移量；

根据所述第一预设折射率、所述第二预设折射率、所述左微环波导的谐振波长偏移量和所述右微环波导的谐振波长偏移量，得到左微环对于折射率的灵敏度和右微环对折射率的灵敏度。

5.根据权利要求4所述的基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，还包括：

根据所述第一预设折射率、所述第二预设折射率、所述左微环对于折射率的灵敏度、所述右微环对折射率的灵敏度、所述左微环波导的谐振波长偏移量和所述右微环波导的谐振波长偏移量，建立温度恒定状态下双微环谐振器的公式，如下式(2)：

式(2)中，Δλ_L|_ΔT＝0为温度不变的状态下左微环谐振器的谐振波长偏移量，Δλ_R|_ΔT＝0为温度不变的状态下右微环谐振器的谐振波长偏移量，ΔT为温度变化量，S_nL为所述左微环波导对于折射率的灵敏度，S_nR为所述右微环波导对于折射率的灵敏度，Δn_c为从第一预设折射率变化到第二预设折射率的变化量。

6.根据权利要求5所述的基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，所述预设实验还包括：

将所述双微环谐振器设置为同一折射率的覆盖层；

根据预设温度集合，将双微环谐振器的温度从第一预设温度分别调整至不同的第二预设温度；其中，所述预设温度集合包括多个第二预设温度；

获取左微环波导的谐振波长偏移量和右微环波导的谐振波长偏移量；

根据所述第一预设温度、所述第二预设温度、所述左微环波导的谐振波长偏移量和所述右微环波导的谐振波长偏移量，得到左微环对于温度的灵敏度和右微环对温度的灵敏度。

7.根据权利要求6所述的基于双微环谐振器的测量方法，其特征在于，还包括：

根据所述第一预设温度、所述第二预设温度、所述左微环对于温度的灵敏度、所述右微环对温度的灵敏度、所述左微环波导的谐振波长偏移量和所述右微环波导的谐振波长偏移量，建立折射率恒定状态下双微环谐振器的公式，如下式(3)：

式(3)中，为折射率不变的状态下左微环谐振器的谐振波长偏移量，为折射率不变的状态下右微环谐振器的谐振波长偏移量，ΔT为从所述第一预设温度调整到所述第二预设温度的温度变化量，S_TL为所述左微环波导对于温度的灵敏度，S_TR为所述右微环波导对于温度的灵敏度，Δn_c为折射率变化量。