[发明专利]洁净度检测系统

权利要求书

1.一种洁净度检测系统，用于检测微流控芯片，其特征在于，所述洁净度检测系统包括：

照明模组；

设置在所述照明模组光路上的载物台，所述载物台包括载物面，所述载物面用于承载所述微流控芯片；和

成像模组，所述成像模组包括镜头和面阵相机，所述成像模组用于对所述照明模组发出的且经所述微流控芯片散射的光线进行成像，所述镜头的光轴相对于所述载物面倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述面阵相机包括探测面，所述镜头的光轴相对于所述探测面倾斜设置。

3.根据权利要求2所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述镜头的光轴相对于所述载物面所成的角度与所述镜头的光轴相对于所述探测面所成的角度相同。

4.根据权利要求3所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述镜头的光轴相对于所述载物面呈45°夹角设置。

5.根据权利要求3所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述镜头从物侧到像侧依次包括正光焦度的第一透镜、正光焦度的第二透镜和负光焦度的第三透镜。

6.根据权利要求5所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述第一透镜的焦距与所述镜头的焦距之比的范围为0.75至0.83。

7.根据权利要求5所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述第二透镜的焦距与所述镜头的焦距之比的范围为19.3至21.4。

8.根据权利要求5所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述第三透镜的焦距与所述镜头的焦距之比的范围为-1.73至-1.56。

9.根据权利要求5所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述第一透镜包括朝向所述物侧的第一面和朝向所述像侧的第二面；

所述第二透镜包括朝向所述物侧的第三面和朝向所述像侧的第四面；

所述第三透镜包括朝向所述物侧的第五面和朝向所述像侧的第六面。

10.根据权利要求1所述的洁净度检测系统，其特征在于，所述照明模组包括激光器、光束整形镜头以及连接所述激光器和所述光束整形镜头的光纤。