[发明专利]一种氦气智能回收纯化系统

说明书

本申请公开了一种氦气智能回收纯化系统，涉及氦气纯化技术领域，其包括依次设置且通过管路连通的过滤模块和吸附模块，过滤模块的入口端设有供气管，过滤模块包括过滤管、设于过滤内腔中的过滤网和用于清理过滤网的清理组件，过滤网上间隔开设有若干通孔，清理组件包括与通孔一一对应的插针、用于为若干插针提供连接基础的连接板、用于驱动连接板沿平行于通孔的轴线方向移动的第一动力件和用于喷淋过滤网及插针的喷淋构件，插针的直径与通孔的直径适配，插针能在第一动力件的作用下插入并穿过通孔。本申请具有实现对过滤网上粘附的油雾颗粒及粉尘的彻底清理的效果。

技术领域

本发明涉及氦气纯化技术领域，尤其是涉及一种氦气智能回收纯化系统。

背景技术

氦气是低温系统中必不可少的工作媒介，氦气为有限的稀缺资源，氦气的循环使是保持可持续发展的重要手段，在对氦气的使用中，对氦气的纯度有较高要求。

氦气在电子半导体行业中可以实现零部件的快速冷却，从而提高生产率，还能控制热传递速率，改善生产效率并减少缺陷。目前半导体芯片行业中对于氦气的杂质指标已经提高到十亿分之一浓度标准，而传统行业中仅提出了百万分之一的浓度标准。

氦气智能回收纯化的过程中，先通过过滤模块将氦气中的大颗粒杂质去除，再通过吸附模块中的活性元素或表面化学反应从气体流中除去杂质气体原子和分子，采用高性能吸气剂纯化材料，通过化学反应的方法在300℃高温下将气体中的水、氧、一氧化碳、二氧化碳、氢气、甲烷、氮气等杂质高效去除到PPB级别以下，实现氦气的智能回收纯化。

但在一些场景下回收的氦气中会存在油雾(例如空调检漏废氦气)，当含有油水的废氦气通过过滤模块时，对过滤模块中的滤网的污染和负荷较大，清理难度高。

发明内容

为了实现对过滤网上粘附的油雾颗粒及粉尘的彻底清理，避免对下一次废氦气的过滤造成影响，本申请提供一种氦气智能回收纯化系统。

本申请提供的一种氦气智能回收纯化系统采用如下的技术方案：

一种氦气智能回收纯化系统，包括依次设置且通过管路连通的过滤模块和吸附模块，所述过滤模块的入口端设有供气管，所述过滤模块包括过滤管、设于过滤内腔中的过滤网和用于清理过滤网的清理组件，所述过滤网上间隔开设有若干通孔，所述清理组件包括与通孔一一对应的插针、用于为若干插针提供连接基础的连接板、用于驱动连接板沿平行于通孔的轴线方向移动的第一动力件和用于喷淋过滤网及插针的喷淋构件，所述插针的直径与通孔的直径适配，所述插针能在第一动力件的作用下插入并穿过通孔。

通过采用上述技术方案，当含有水油的废氦气通过过滤模块时，过滤网对废氦气中的油雾颗粒及粉尘起到了过滤作用，实现对废氦气中的大颗粒的过滤；当供气管不再向过滤模块中供气时，第一动力件驱动连接板带动插针一一插入于过滤网上的通孔中，插针插入于通孔中并穿过通孔，插针的外壁与通孔的内壁摩擦，插针将残留于通孔中的油雾颗粒及粉尘带出，喷淋构件对外壁带有油雾颗粒及粉尘的插针穿过过滤网的一端进行喷淋，将插针上粘附的油雾颗粒及粉尘的清洗，然后通过第一动力件控制插针回缩，对过滤网的通孔进行二次清理，插针移出通孔后，通过喷淋构件对插针进行喷淋，实现插针二次粘附的油雾颗粒及粉尘的清理，实现对过滤网通孔中粘附的油雾颗粒及粉尘的清理，最后通过喷淋构件对过滤网的两侧面进行喷淋，实现对过滤网两侧面粘附的油雾颗粒及粉尘的清洗，最终实现对过滤网上粘附的油雾颗粒及粉尘的彻底清理，避免对下一次废氦气的过滤造成影响。

优选的，所述过滤网包括边框和网体，所述网体为可弹性形变的材料，所述插针的外壁上设有若干凸起，所述凸起位于靠近连接板的一端；

所述插针首次插入通孔中时，所述凸起始终位于通孔外侧，所述插针再次插入于通孔之前，先沿首次插入的方向继续移动至凸起穿过通孔，再向反方向移动至插针与通孔脱离。