[发明专利]压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子

权利要求书

1.一种压电元件，具备：

第一电极，其被形成在基板上；

种子层，其被形成在所述第一电极上；

压电体膜，其被形成在所述种子层上，并含有钾、钠以及铌；

第二电极，其被形成在所述压电体膜上，

所述压电体膜含有锂以及一种以上的第一过渡元素，

所述种子层含有铋，

当将所述压电体膜在层叠方向上进行二等分，并将所述第二电极侧设为第一区域且将所述第一电极侧设为第二区域时，所述第一区域和所述第二区域的分界处的由二次离子质谱测量而得到的铋强度为所述压电体膜的由所述二次离子质谱测量而得到的最大铋强度的五百分之一以下。

2.如权利要求1所述的压电元件，其中，

所述种子层含有钛、铁、以及铅。

3.如权利要求2所述的压电元件，其中，

在所述层叠方向上，所述种子层的厚度与所述第一电极的厚度相比而较薄。

4.如权利要求1至权利要求3中的任意一项所述的压电元件，其中，

所述压电体膜向(100)面择优取向。

5.一种液滴喷出头，其具备权利要求1所述的压电元件、和基板，并具有：

喷嘴板，其形成有喷出液滴的喷嘴；

压力室基板，其形成与所述喷嘴连通的压力室，

所述基板形成所述压力室的壁面的一部分，

所述压电元件被形成在所述基板上。

6.一种致动器，其具备权利要求1所述的压电元件，并具有：

驱动部，其通过所述压电元件而被驱动；

电压施加部，其向所述压电元件施加电压。

7.一种振子，其具备权利要求1所述的压电元件，并具有：

电荷检测部，其对通过所述压电元件的位移而产生的电荷量进行检测，并输出与所述电荷量相应的信号。