[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品

说明书

本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块和耦合部件，第一质量块设置有多个，沿第一方向，多个第一质量块分别位于第二质量块的相对两侧；耦合部件包括耦合连杆和连接于耦合连杆两端的多个连接梁，连接梁为柔性梁，耦合部件位于第一质量块和第二质量块之间，并将第一质量块和第二质量块连接，其中，连接于耦合连杆一端的连接梁与第一质量块连接，连接于耦合连杆另一端的连接梁与第二质量块连接。该种微机械陀螺仪及电子产品，通过耦合连杆的设置，能够使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。

【技术领域】

本发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。

【背景技术】

微机械陀螺仪是应用微机械加工技术与微电子工艺制作的一种微型角速度传感器。微机械陀螺仪的驱动模态绕垂直于质量块的轴摆动。当施加角速度时，由于哥氏效应，陀螺仪将能量传递到检测模态，使质量块在相对驱动下在面外摆动。通过检测质量块面外摆动的位移即可获取角速度大小。

现有技术中的微机械陀螺仪，质量块之间弱耦合，无法保证质量块的位移比。

因此，有必要提供一种新的微机械陀螺仪以解决上述问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种微机械陀螺仪及电子产品，能够使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。

本发明的技术方案如下：

本发明第一方面提供一种微机械陀螺仪，包括：

第一质量块和第二质量块，所述第一质量块设置有多个，沿第一方向，多个所述第一质量块分别位于所述第二质量块的相对两侧；

耦合部件，包括耦合连杆和连接于所述耦合连杆两端的多个连接梁，所述连接梁为柔性梁，所述耦合部件位于所述第一质量块和所述第二质量块之间，并将所述第一质量块和所述第二质量块连接，其中，连接于所述耦合连杆一端的所述连接梁与所述第一质量块连接，连接于所述耦合连杆另一端的所述连接梁与所述第二质量块连接。

在一种可能的设计中，所述第一质量块通过多个所述耦合部件与所述第二质量块连接。

在一种可能的设计中，沿与所述第一方向垂直的第二方向，所述第一质量块具有第一端和第二端，所述第一端通过所述耦合部件与所述第二质量块连接，所述第二端通过另一所述耦合部件与所述第二质量块连接。

在一种可能的设计中，位于所述第二质量块相对两侧的多个所述第一质量块沿所述第一方向互相对称。

在一种可能的设计中，位于所述第二质量块相对两侧的多个所述耦合部件沿所述第一方向互相对称。

在一种可能的设计中，还包括多个驱动件、多个解耦件和多个耦合梁，沿与所述第一方向垂直的第二方向，多个所述解耦件相对设置，且所述第一质量块和所述第二质量块位于多个所述解耦件之间，所述解耦件和与其相对设置的每个所述第一质量块之间均通过所述耦合梁连接，每个所述解耦件均连接有多个所述驱动件。

在一种可能的设计中，与同一所述解耦件连接的多个所述耦合梁沿所述第一方向互相对称，位于所述第一质量块相对两侧的多个所述耦合梁沿所述第二方向互相对称，位于所述第一质量块和所述第二质量块一侧的所述解耦件以及与其连接的所述驱动件，和位于所述第一质量块和所述第二质量块另一侧的所述解耦件以及与其连接的所述驱动件沿第二方向互相对称，且与同一所述解耦件连接的多个所述驱动件沿所述第一方向互相对称。

在一种可能的设计中，还包括多个第一锚点，每个所述解耦件均对应设置有多个所述第一锚点，所述驱动件的一端与所述解耦件连接，另一端与所述第一锚点连接。