[发明专利]一种MEMS陀螺仪及其制作方法

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括：基底以及形成在所述基底上的电极组件、支撑锚点、谐振结构和石墨烯层；所述石墨烯层包覆在所述谐振结构和所述电极组件的表面；

其中，所述谐振结构包括多个悬梁结构以及振动环；所述电极组件具有第一组电极和第二组电极；所述振动环位于所述第一组电极和所述第二组电极之间，所述振动环朝向所述基底的一端与所述第二组电极和第一组电极之间具有间隔，所述第一组电极与所述振动环之间具有第一空隙，所述第二组电极与所述振动环之间具有第二空隙，所述振动环通过所述多个悬梁结构与所述支撑锚点连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述多个悬梁结构环绕所述支撑锚点，所述多个悬梁结构的第一端与所述支撑锚点连接，所述多个悬梁结构的第二端与所述振动环连接。

3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一组电极包括多个第一子电极，多个所述第一子电极环绕所述支撑锚点，所述第二组电极包括多个第二子电极，多个所述第二子电极环绕支撑锚点，所述多个悬梁结构穿过所述第二组电极与所述振动环连接。

4.根据权利要求3所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，相邻两个所述第一子电极之间的具有第一驱动电极和第一检测电极。

5.根据权利要求3所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述振动环环绕所述支撑锚点，所述振动环与一个所述第一子电极形成第一电容，所述振动环与多个所述第二子电极形成多个第二电容。

6.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述石墨烯层形成在所述电极组件的四周。

7.根据权利要求3所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，相邻两个所述第一子电极，其中一个所述第一子电极为驱动电极，用于在所述MEMS陀螺仪静止时驱动所述谐振结构振动，另一个所述第一子电极为检测电极用于检测所述MEMS陀螺仪旋转时谐振结构的模态变化。

8.一种基于权利要求1~7任一项所述的MEMS陀螺仪的制作方法，其特征在于，包括：

提供一第一基板和第二基板；

在第一基板形成电极引线；

在第二基板形成支撑锚点和电极组件；

将第一基板的电极引线面与第二基板的电极组件面进行键合，并形成谐振结构；其中，所述谐振结构与所述电极组件形成电容；

将石墨烯层包覆在所述谐振结构和所述电极组件的表面上。

9.根据权利要求8所述的MEMS陀螺仪的制作方法，其特征在于，所述石墨烯层的厚度大于或等于0.34nm。

10.根据权利要求8所述的MEMS陀螺仪的制作方法，其特征在于，所述在第一基板形成电极引线，包括：在第一基板上溅射金属和金属图案形成电极引线；所述金属为金、铝、钛、硅化铂、硅化钛中的至少一种。