[发明专利]一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法

权利要求书

1.一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、采用机械成形或激光刻槽工艺制备带有开放式沟槽结构的流道基体，除去沟槽内部和表面的灰尘以满足结合力的要求；

S2、薄膜材料覆盖在流道基体上；

S3、采用压紧或抽真空的方法将透明靶材覆盖在覆盖薄膜材料的开放式沟槽结构上；

S4、采用激光透射透明靶材，在沟槽结构表面上激光织构沉积，形成过渡层，取掉靶材形成带多级结构的耐久亲水复合沟槽的沉积结合体；

S5、后处理：将S4所得沉积结合体放置于真空中温度为50～500℃条件下2～48小时，目的在于提高沉积颗粒和开放式沟槽的结合强度，进一步提高耐久性。

2.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述流道基体为Al、Cu、Mg、Ag高导热合金或SiC、AlN化合物或陶瓷板材。

3.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述沟槽结构的横截面为1～2mm深的几何沟槽。

4.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述透明靶材为能让激光93％以上透射的复合材料。

5.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：采用激光透射透明靶材，在沟槽结构表面上织构成图案。

6.根据权利要求3所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述复合沟槽为宏微一体沟槽，几何沟槽提供主要的芯吸能力，沉积在沟槽表面的透明靶材微纳颗粒提高沟槽的芯吸能力，逆重力吸水。

7.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述S3中能使用真空、空气、Ar或N₂气氛。

8.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述S1中采用后处理除去沟槽内部和表面的灰尘以满足结合力的要求。

9.根据权利要求1所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，其特征在于：所述S4中，激光织构沉积的工艺为：短脉冲激光，波长为700-3000nm，激光脉冲1ms～1fs，重频0.01Khz～10Ghz，单脉冲能0.01μJ～100mJ。

10.根据权利要求1～9任一项所述的一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法用于制备微热管的冷凝段，以提高其芯吸能力和耐久性。