[发明专利]蚀刻设备及感光蚀刻工艺

说明书

本公开涉及蚀刻加工技术领域，提供一种蚀刻设备及感光蚀刻工艺；包括：烘干箱、感光箱和蚀刻箱，蚀刻箱包括第一电机、第二电机、离心管和工件安装轴；蚀刻箱底部形成有容纳槽；离心管的第一端设置有吸水装置，吸水装置浸没在容纳槽的蚀刻液中，离心管的第二端与第一电机传动连接，离心管的侧壁上分布有多个洒液孔，第一电机转动时离心管内的蚀刻液由洒液孔流出洒向安装在工件安装轴上的工件；第二电机与第一电机相邻设置，第二电机与工件安装轴传动连接。该蚀刻设备，能够避免破坏工件内部结构，防止内应力的产生，保证工件的强度；另外，通过采用紫外线进行曝光处理，能够有效提升曝光的分辨率，简化工艺，降低成本，提高生产效率。

技术领域

本公开涉及蚀刻加工技术领域，尤其涉及一种蚀刻设备及感光蚀刻工艺。

背景技术

现有技术中多采用冲压或电化学蚀刻的方式在金属工件表面加工文字，通过冲压的方式在金属表面刻字易破坏工件内部的应力结构，影响工件自身的强度，且精确度差易造成字迹模糊；而通过电化学蚀刻的方式加工金属工件需要将工件整体浸泡入工作液中，成本较高，且加工过程易增加工件的内应力。

发明内容

为了解决上述技术问题，本公开提供了一种蚀刻设备及感光蚀刻工艺。

本公开一方面提供了一种蚀刻设备，包括：烘干箱、感光箱和蚀刻箱，所述烘干箱、所述感光箱和所述蚀刻箱的内腔相互独立设置且均设置有可开合的取件口，所述烘干箱内用于烘干工件，所述感光箱内设置有工件安装部和UV灯；所述蚀刻箱包括第一电机、第二电机、离心管和工件安装轴；所述蚀刻箱底部形成有用于容纳蚀刻液的容纳槽；所述离心管设置于所述蚀刻箱内，所述离心管的第一端设置有吸水装置，所述吸水装置用于浸没在容纳槽的蚀刻液中，所述第一电机固定于带动蚀刻箱的面板上，所述离心管的第二端与所述第一电机传动连接，所述离心管的侧壁上分布有多个洒液孔，所述第一电机转动时所述离心管内的所述蚀刻液由所述洒液孔流出洒向安装在所述工件安装轴上的工件；所述第二电机与所述第一电机相邻设置，所述工件安装轴设置在所述蚀刻箱内，所述第二电机与所述工件安装轴传动连接。

可选地，所述UV灯设置于所述感光箱的底部，所述感光箱上设置有第三电机，所述感光箱内设置有平行于感光箱地面的转轴，所述工件安装部与所述转轴同轴设置。

可选地，所述烘干箱的侧壁上设置有工件安装座，烘干箱底部设置有加热装置。

可选地，所述离心管与所述工件安装轴平行设置。

可选地，所述烘干箱、所述感光箱和所述蚀刻箱的外壁依次相连。

本公开实施例提供的蚀刻设备，通过设置烘干箱，既能够在干燥感光材料的过程中使用，也能够对涂抹完显影剂的工件进行干燥，能够提升设备的集成度，提升加工效率；通过在感光箱内设置UV灯能够对工件进行紫外线照射，使感光材料进行曝光形成潜影；通过在蚀刻箱内设置第一电机、第二电机、离心管和工件安装轴，能够将蚀刻液喷洒向工件，并在喷洒蚀刻液的同时转动工件，使蚀刻液的喷洒更均匀同时节省蚀刻液的用量，避免浪费。该蚀刻设备，能够避免破坏工件内部结构，防止内应力的产生，保证工件的强度；另外，通过采用紫外线进行曝光处理，能够有效提升曝光的分辨率，简化工艺，降低成本，提高生产效率。

本公开另一方面还提供了一种感光蚀刻工艺，采用上述的蚀刻设备，包括以下步骤：

清洁工件表面；

将感光材料按照预设的图案覆涂于工件表面；

使感光材料充分干燥；

对工件进行紫外线照射；

将显影剂涂抹于工件表面；

对工件进行干燥；

向工件表面喷洒蚀刻液；

清洗工件表面，去除残留物。