[发明专利]一种通孔桥连缺陷确定方法及装置在审
申请号: | 202310166347.2 | 申请日: | 2023-02-22 |
公开(公告)号: | CN116206994A | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 苏晓菁;韦亚一;李静静;粟雅娟 | 申请(专利权)人: | 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G03F7/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 钱湾湾 |
地址: | 510535 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 通孔桥连 缺陷 确定 方法 装置 | ||
1.一种通孔桥连缺陷确定方法,其特征在于,所述方法包括:
获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离,形成最小距离矩阵;
确定所述最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离;
根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点;
根据所述安全距离位置点拟合安全距离曲线;
利用所述安全距离曲线进行积分,得到所述第一通孔和所述第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点包括:
根据所述目标距离确定所述目标距离对应的阈值位置点;
将和所述阈值位置点横坐标相同,纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述将和所述阈值位置点横坐标相同,纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点包括:
将和所述阈值位置点横坐标相同,纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为初始位置点;
多个所述初始位置点中包括横坐标相同的多个目标位置点,根据所述第一通孔和所述第二通孔的位置关系在多个所述目标位置点中确定安全距离位置点。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一通孔和所述第二通孔之间的位置关系包括第一位置关系和第二位置关系,所述第一位置关系为以所述第一通孔为原点,所述第二通孔位于所述第一通孔的第一象限和第三象限,所述第二位置关系为以所述第一通孔为原点,所述第二通孔位于所述第一通孔的第二象限和第四象限;
所述利用所述安全距离曲线进行积分包括:
根据所述第一位置关系,对二维方向进行积分,所述二维方向包括X方向和Y方向,所述X方向和所述Y方向垂直,所述Y方向的积分区间为所述安全距离曲线至正无穷;
或,
根据所述第二位置关系,对二维方向进行积分,所述Y方向的积分区间为负无穷至所述安全距离曲线。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离包括:
所述第一通孔位置固定,所述第二通孔根据高斯概率密度分布在固定范围内进行二维方向的移动,所述二维方向包括X方向和Y方向,所述X方向和所述Y方向垂直;
在所述第二通孔沿着所述X方向和所述Y方向进行移动时,获取所述第一通孔和所述第二通孔之间的最小距离。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述确定所述最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离包括:
获取所述最小距离矩阵中的目标行,所述目标行为所述最小距离矩阵中的任一行;
确定所述目标行中第一个大于阈值的目标距离,所述阈值根据所述第一通孔和所述第二通孔不存在桥连缺陷确定。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的方法,其特征在于,所述获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离,形成最小距离矩阵包括:
获取固定位置不同图形轮廓的第一通孔和不同位置处的不同图形轮廓的第二通孔之间的距离,形成最小距离矩阵。
8.根据权利要求1-6任意一项所述的方法,其特征在于,所述第一通孔和所述第二通孔设置于不同通孔层。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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