[发明专利]加热器清扫装置在审
申请号: | 202310171821.0 | 申请日: | 2023-02-24 |
公开(公告)号: | CN116213378A | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 张啸;李哲懿;刘涛;柳小敏;朱亮 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B08B9/032 | 分类号: | B08B9/032 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 张子飞 |
地址: | 201314*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 清扫 装置 | ||
1.一种加热器清扫装置,其特征在于,包括:吹扫架以及若干个吹扫头;
所述吹扫头设置于所述吹扫架上;
所述吹扫架用于与加热器装配,并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对,各所述吹扫头用于同时向各所述通孔内吹气。
2.如权利要求1所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述加热器清扫装置还包括定位件,所述定位件设置于所述吹扫架上;所述吹扫架与所述加热器装配时,所述定位件用于使得所述吹扫架相对所述加热器定位,并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对。
3.如权利要求2所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述定位件具有贴合面,所述贴合面用于贴合于所述加热器的外周面;和/或,所述定位件包括销轴,所述定位销用于沿所述加热器的轴向插装于所述加热器的工艺孔内。
4.如权利要求2所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述定位件为环形套筒。
5.如权利要求4所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述吹扫架为圆盘形,所述定位件与所述吹扫架同轴设置。
6.如权利要求1所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述加热器清扫装置还包括若干个支管以及总管,所述吹扫头与一所述支管连通,各所述支管与所述总管连通;和/或;所述加热器清扫装置还包括过滤器,所述过滤器与所述吹扫头连通,用于过滤通入吹扫头内的气体。
7.如权利要求1所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述加热器清扫装置还包括把手,所述把手设置于所述吹扫架上。
8.如权利要求7所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述把手以及所述吹扫头的出口端分别沿第一方向位于所述吹扫架的两侧;和/或,各所述吹扫头围绕所述把手设置。
9.如权利要求1所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述吹扫头包括吹扫管和锁紧件,所述吹扫架上沿第一方向开设有安装孔,所述吹扫头沿第一方向穿过所述安装孔,并通过所述锁紧件固定于所述吹扫架上。
10.如权利要求9所述的加热器清扫装置,其特征在于,所述吹扫管的外壁设置有阻挡件,所述阻挡件沿所述第一方向抵在所述吹扫架的一侧,所述锁紧件与所述吹扫管的螺纹传动配合,并沿第一方向压紧于所述吹扫架的另一侧。
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