[发明专利]一种新型双面生长分子束外延设备

权利要求书

1.一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：包括炉体、支撑装置、喷射装置和取样装置；所述炉体上设有若干激光加热孔和气源通道，所述激光加热孔、气源通道分别与炉体内部连通，所述支撑装置位于炉体内的中部，用于支撑生长衬底，所述喷射装置设置在炉体内，且位于支撑装置的顶部和底部，所述取样装置用于放取生长衬底。

2.根据权利要求1所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述支撑装置包括支撑板、旋转平台、驱动齿轮和连接杆，所述支撑板设置在炉体内的中部位置，旋转平台设置在支撑板上，旋转平台由复合轴承和设置在其上的旋转齿轮构成，其中复合轴承的中心设有开孔，开孔的周围设有支撑边缘，所述驱动齿轮与旋转齿轮啮合，所述连接杆与驱动齿轮连接，连接杆的另一端上还设有驱动电机，所述驱动电机位于炉体外壁处。

3.根据权利要求1所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述激光加热孔设有4个，4个加热孔两两以炉体中心对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述喷射装置包括上喷射组件和下喷射组件，上喷射组件包括若干上喷射枪，上喷射枪位于支撑装置的上方，所述下喷射组件包括若干下喷射枪，下喷射枪位于支撑装置的下方。

5.根据权利要求4所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述上喷射枪、下喷射枪的外侧均设有遮挡机构，所述遮挡机构通过连杆机构与上喷射枪、下喷射枪连接。

6.根据权利要求1所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述取样装置包括取样杆和设置在取样杆端部的取样夹爪，所述炉体侧面设有取样仓门，取放样时将取样仓门打开，取样装置伸到炉体内。

7.根据权利要求6所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述取样夹爪为三角支架状结构，所述三角支架状结构的端部设有橡胶底座。

8.根据权利要求2所述的一种新型双面生长分子束外延设备，其特征在于：所述炉体上还设有电子枪和电子摄像机，所述电子枪和电子摄像机以旋转平台的中心对称设置。