[发明专利]一种声表面波滤波器及多工器

说明书

本发明涉及电子通信器件技术领域，尤其涉及一种声表面波滤波器及多工器。一种声表面波滤波器，包括支撑衬底、高声速层、低声速层、压电膜层、滤波器金属电极以及多个滤波器芯片，所述滤波器芯片为梯形滤波器或纵向耦合多模滤波器。本发明在薄膜型声表面波滤波器、多工器中，通过采用不同寄生模式抑制手段，能够提升薄膜型声表面波滤波器的设计自由度，并且通过精细调整寄生模式抑制方法，使得每个通道的滤波特性均达到最优。

技术领域

本发明涉及电子通信器件技术领域，尤其涉及一种声表面波滤波器及多工器。

背景技术

声表面波滤波器和多工器是一种选频装置。作为通信技术领域极为重要的元器件，声表面波滤波器和多工器在基站和移动终端设备中应用广泛。现有规模化应用的声表面波滤波器主要为基于压电单晶的普通声表面波滤波器(STD-SAW)和温度补偿型滤波器(TC-SAW)。随着移动通信技术的发展，迫切需求具备更低插入损耗、更低频率温度系数、更高品质因子的声表面波滤波器，薄膜型声表面波滤波器(TF-SAW)即是其中一种有效的解决方案。

然而，在薄膜型声表面波滤波器中，当声波偏离主模式的传播轨迹，则会引入横波模式、体波等寄生模式。这些寄生模式会导致滤波器的通带中出现大量波纹，而且其中一个通道的寄生模式可能导致其他通道的通带内出现波纹，这些都对滤波器、多工器的使用造成不利影响。因此，无用模式寄生是薄膜型声表面波滤波器、多工器器件中需重点解决的问题之一。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的第一个目的在于提供一种可抑制横波等寄生模式的声表面波滤波器，本发明的第二个目的在于提供一种由采用不同寄生模式抑制手段的谐振器和滤波器组成的多工器。

为了实现上述第一个发明目的，本发明采用以下技术方案：

一种声表面波滤波器，包括支撑衬底、高声速层、低声速层、压电膜层、滤波器金属电极以及多个滤波器芯片，所述滤波器芯片为梯形滤波器或纵向耦合多模滤波器。

作为优选方案：所述梯形滤波器包括多个由串联臂和并联臂构成的谐振器。

作为优选方案：所述梯形滤波器还包括反射栅、第一上下汇流条电极、第一上下有效指和第一上下假指，其中，谐振器与声波传播方向x1形成夹角β1，第一上下有效指和第一上下假指之间分别形成第一有效孔径上边界和第一有效孔径下边界，第一有效孔径上边界和第一有效孔径下边界的形状为包含弧线和直线的多段线。

作为优选方案：所述梯形滤波器还包括反射栅、第一上下汇流条电极、第一上下有效指和上下附加金属条，其中谐振器与声波传播方向x1形成夹角β2，上下附加金属条为1至3根彼此平行或互成一定角度的金属条，所述上下附加金属条的形状为直线型、波浪形或包含弧线和直线的多段线型金属条。

作为优选方案：所述纵向耦合多模滤波器包括反射栅、多个换能器及第一端口、第二端口，其中每个换能器由上汇流条电极、下汇流条电极、第二上下假指和第二上下有效指组成；每个换能器的上汇流条电极分别与第一端口相连或接地，每个换能器的下汇流条电极分别与第二端口相连或接地，且多个换能器的上汇流条电极交替与第一端口和接地相连，多个换能器的下汇流条电极交替与第二端口和接地相连，每个换能器与声波传播方向x1形成夹角θ；第二上下假指和第二上下有效指之间分别形成第二有效孔径上边界和第二有效孔径下边界，第二有效孔径上边界和下边界的形状为直线型、单周期或多周期弯曲波浪形。