[发明专利]一种氮化钛基自释放碳润滑复合涂层及其制备方法和应用在审
申请号: | 202310186808.2 | 申请日: | 2023-03-02 |
公开(公告)号: | CN116162900A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 徐书生;李轲;乐凯;刘维民 | 申请(专利权)人: | 中国科学院兰州化学物理研究所;烟台先进材料与绿色制造山东省实验室;青岛市资源化学与新材料研究中心 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/58;C23C14/02 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王立普 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 释放 润滑 复合 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种氮化钛基自释放碳润滑复合涂层的制备方法,包括以下步骤:
在基底上沉积多孔氮化钛涂层;所述沉积为多弧离子镀沉积,以钛金属靶为靶材,以氮气为工作气体,所述沉积的过程中,基底法线与钛金属靶法线的夹角为75~85°;
将所述多孔氮化钛涂层浸泡在碳源水溶液中进行水热处理,得到复合有碳前驱体的氮化钛涂层;
将所述复合有碳前驱体的氮化钛涂层在保护气氛下进行碳化,得到所述氮化钛基自释放碳润滑复合涂层。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述沉积的条件包括:靶基距为40~60mm,真空度为0.2~1.0Pa,氮气的气流量为100~800sccm,弧电流为75~85A,沉积时间为30~35min。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述沉积多孔氮化钛涂层之前,还包括在所述基底上沉积钛层。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述钛层的厚度为400~500nm。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述碳源水溶液中的碳源为小分子糖;所述碳源水溶液的浓度为195~200g/L。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述水热处理的温度为150~200℃,时间为150~240min。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述保护气氛为氩气或氮气;所述保护气氛的气流量为60~150sccm。
8.根据权利要求1或5所述的制备方法,其特征在于,所述碳化的温度为500~600℃,时间为120~240min。
9.权利要求1~8任意一项所述制备方法制备得到的氮化钛基自释放碳润滑复合涂层,包括沉积在基底上的多孔氮化钛涂层和填充在所述多孔氮化钛涂层的孔隙中的碳润滑相,所述多孔氮化钛涂层的孔为纳米尺度。
10.权利要求9所述氮化钛基自释放碳润滑复合涂层在润滑减摩中的应用。
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