[发明专利]一种转台结构在审
申请号: | 202310193328.9 | 申请日: | 2023-03-01 |
公开(公告)号: | CN116276155A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 尹韶辉;刘坚;邱蕾;高云睿;何富裕 | 申请(专利权)人: | 江苏优普纳科技有限公司;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心 |
主分类号: | B23Q1/26 | 分类号: | B23Q1/26 |
代理公司: | 北京思睿峰知识产权代理有限公司 11396 | 代理人: | 谢建云;赵爱军 |
地址: | 214001 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转台 结构 | ||
1.一种转台结构,其特征在于,包括:
基体、设置在所述基体上的转台部和驱动部;
其中,
转台部,包括固定轴、主轴轴承和台面,所述固定轴的一端与所述基体固定连接,所述主轴轴承套接在所述固定轴远离所述基体一端,所述台面上设置有通孔,所述台面通过所述通孔套接在所述主轴轴承上;
驱动部,包括电机、传动杆、同步带和带轮,所述带轮通过所述传动杆与所述电机连接,所述同步带分别缠绕所述带轮和台面。
2.如权利要求1所述的转台结构,其特征在于,
所述主轴轴承被配置为沿着所述固定轴向靠近或远离所述基体方向运动。
3.如权利要求2所述的转台结构,其特征在于,还包括:
多个吸盘,设置在所述转台与基体之间,且固定在所述基体上;
气泵,被配置为当所述转台转动时,向所述吸盘充气,使得所述吸盘与转台之间形成气膜;以及
当所述转台停止转动时,从所述吸盘抽气,使得所述吸盘与转台之间形成真空环境。
4.如权利要求1所述的转台结构,其特征在于,还包括:
涨紧部,设置在所述主轴轴承和带轮之间,适于增加所述同步带与转台部之间的包角。
5.如权利要求1所述的转台结构,其特征在于,所述台面的四周边缘设置有用于容纳所述同步带的凹槽;以及
所述转台部还包括:
压盖件,设置在所述凹槽顶部,用于防止所述同步带滑出所述凹槽。
6.如权利要求4所述的转台结构,其特征在于,所述涨紧部包括相对设置的第一涨紧件和第二涨紧件;
其中,第一涨紧件,包括第一固定轴和第一轴承,所述第一固定轴的一端与所述基体固定连接,所述第一轴承套接在所述第一固定轴远离所述基体一端;
第二涨紧件,包括第二固定轴和第二轴承,所述第二固定轴的一端与所述基体固定连接,所述第二轴承套接在所述第二固定轴远离所述基体一端。
7.如权利要求6所述的转台结构,其特征在于,所述主轴轴承、第一轴承和第二轴承的外圈均设置有弹簧挡圈。
8.如权利要求1所述的转台结构,其特征在于,所述转台部还包括盖板,覆盖在所述转台上,用于遮蔽所述主轴轴承。
9.如权利要求1所述的转台结构,其特征在于,所述传动杆被配置为可控制所述带轮的转动速度。
10.如权利要求1所述的转台结构,其特征在于,驱动部还包括安装板,用于将所述电机和传动杆固定在所述基体上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏优普纳科技有限公司;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心,未经江苏优普纳科技有限公司;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202310193328.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。